[发明专利]光照射装置

说明书

本发明提供光照射装置，能够以适当的曝光量对能够以低曝光量曝光的对象物进行曝光。对从光源(11)照射出的光进行导光的导光构件(12)从被供给光源(11)的光的光入射部(11b)朝光射出部(11e)引导光，该光射出部(11e)呈大致带状地设置于工作台的上方且朝工作台照射光。来自光源(11)的光呈大致带状地扩展，因此，从光射出部(11e)朝工作台(21)照射的光变弱。

技术领域

本发明涉及光照射装置。

背景技术

在专利文献1中公开了如下内容：在偏振光照射装置中，针对连续或者间歇地呈直线状地搬运的光取向膜，沿着光取向膜的搬运方向多级地配置光照射部，从多级地配置的各光照射部朝光取向膜照射偏振光而进行光取向，其中，从各光照射部朝光取向膜照射的UV能量为几百mJ/cm²。

在专利文献2中公开了能够以低曝光量(对1μm的厚度的取向膜照射约1mJ/cm²～500mJ/cm²)对取向膜赋予液晶取向性能的光取向材料。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-215639号公报

专利文献2：日本特开2015-031823号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在使用专利文献1所记载的发明来对专利文献2所记载的光取向材料进行曝光的情况下，存在曝光量过高这样的问题。

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于提供一种以适当的曝光量对能够以低曝光量曝光的对象物进行曝光的光照射装置。

为了解决上述课题，本发明所涉及的光照射装置的特征在于，例如具备：工作台，其供对象物载置；以及光照射部，其具有光源和导光构件，所述导光构件对从所述光源照射出的光进行导光，且具有被供给所述光源的光的光入射部、以及呈大致带状地设置于所述工作台的上方且朝所述工作台照射光的光射出部。

根据本发明所涉及的光照射装置，对从光源照射出的光进行导光的导光构件从被供给光源的光的光入射部朝呈大致带状地设置于工作台的上方且朝工作台照射光的光射出部引导光。来自光源的光呈大致带状地扩展，因此，从光射出部朝工作台照射的光变弱。由此，能够以适当的曝光量对能够以低曝光量曝光的对象物进行曝光。

此处，也可以是，所述导光构件是捆扎多个光纤而成的光纤线缆，所述光纤线缆中的第一端是所述光入射部，所述光纤线缆中的除所述第一端以外的第二端未将所述多个光纤捆扎，而以长边方向沿着与所述对象物的扫描方向大致正交的方向的方式将所述多个光纤呈大致带状地排列，由此构成所述光射出部。这样，通过使用光纤进行导光，能够不将光源设置于工作台的上方而将光射出部设置于工作台的上方。因而，能够减轻设置于工作台的上方的部分。

此处，也可以是，所述光纤线缆具有第一光纤线缆以及第二光纤线缆，所述光射出部具有作为所述第一光纤线缆的一端的第一光射出部、以及作为所述第二光纤线缆的一端的第二光射出部，所述第一光射出部与所述第二光射出部沿着所述扫描方向隔开间隙地排列，在从所述第一光射出部朝所述对象物照射的光与从所述第二光射出部朝所述对象物照射的光中，光的强度、偏振的方向以及偏振的有无中的至少一个不同。这样，通过使用光纤进行导光，能够在各种位置配置多个光射出部，能够使从各光射出部照射的光的强度、偏振的方向以及偏振的有无中的至少一个不同。因而，能够一次进行各种曝光处理。

此处，也可以是，所述光照射装置具备加热部，该加热部对所述对象物进行加热，且设置于所述第一光射出部与所述第二光射出部之间，从所述第一光射出部朝所述对象物照射的光是偏振光，从所述第二光射出部朝所述对象物照射的光是未被偏振的光。这样，在照射偏振光后进行加热，之后照射非偏振光，由此能够在短时间内进行取向处理。