[发明专利]X射线显微镜有效
| 申请号： | 201680054724.1 | 申请日： | 2016-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN108028089B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 松山智至;山田纯平 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人大阪大学 |
| 主分类号： | G21K7/00 | 分类号： | G21K7/00;G21K1/06 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 刘兵;戴香芸 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 射线 显微镜 | ||
1.一种X射线显微镜，该X射线显微镜依次具有：X射线源、样品保持部、具有反射凹面的Kirkpatrick-Baez镜即凹面KB镜、具有反射凸面的Kirkpatrick-Baez镜即凸面KB镜、以及位于与所述样品保持部的位置为成像关系的位置的光接收部，
所述凹面KB镜和所述凸面KB镜分别为仅一个方向具有曲率的一维聚光镜，
所述凹面KB镜的所述反射凹面包括椭圆形状。
2.根据权利要求1所述的X射线显微镜，其中，所述样品保持部位于所述椭圆的焦点位置。
3.权利要求1所述的X射线显微镜，其中，所述凸面KB镜的所述反射凸面为包括具有一支曲线和另一支曲线的双曲线中的所述一支曲线的反射凸面，所述光接收部位于所述双曲线的焦点中另一支方曲线侧的焦点位置。
4.根据权利要求1-3中的任意一项所述的X射线显微镜，其中，与所述凸面KB镜和所述光接收部的距离相比，所述凹面KB镜与所述光接收部的距离更长。
5.根据权利要求1-3中的任意一项所述的X射线显微镜，其中，所述样品保持部与所述凹面KB镜之间，存在包括所述凸面KB镜和所述凹面KB镜的成像系统的主面。
6.根据权利要求1-3中的任意一项所述的X射线显微镜，其中，所述样品保持部的位置与所述光接收部的位置的距离为2.5m以内。
7.根据权利要求1-3中的任意一项所述的X射线显微镜，其中，配置有至少2枚所述凸面KB镜，且配置有至少2枚所述凹面KB镜，
一枚凸面KB镜的法线与另一枚凸面KB镜的法线彼此不平行，
一枚凹面KB镜的法线与另一枚凹面KB镜的法线彼此不平行。
8.根据权利要求1-3中的任意一项所述的X射线显微镜，其中，所述样品保持部与所述凹面KB镜的最短距离为6mm以上。
9.根据权利要求1-3中的任意一项所述的X射线显微镜，其中，所述凸面KB镜或者所述凹面KB镜中的至少一者可移动地设置在光轴方向上。
10.根据权利要求1-3中的任意一项所述的X射线显微镜，其中，所述样品保持部与所述凹面KB镜之间，配置有第一凹面KB镜和第二凹面KB镜，
所述凹面KB镜的法线与所述第一凹面KB镜的法线彼此不平行，
所述凸面KB镜的法线与所述第二凹面KB镜的法线彼此不平行。
11.根据权利要求10所述的X射线显微镜，其中，所述第一凹面KB镜相比所述第二凹面KB镜更接近所述样品保持部，
所述第一凹面KB镜的反射凹面包括双曲线，
所述第二凹面KB镜的反射凹面包括椭圆。
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