[发明专利]利用脉冲加宽二极管激光器的干涉测量法在审

专利信息
申请号: 201680054134.9 申请日: 2016-09-15
公开(公告)号: CN108027229A 公开(公告)日: 2018-05-11
发明(设计)人: 亚历山大·R·图姆林森;纳森·舍蒙斯基;刘源 申请(专利权)人: 卡尔蔡司医疗技术公司;卡尔蔡司医疗技术股份公司
主分类号: G01B9/02 分类号: G01B9/02;H01S5/06;H01S5/062
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 梁丽超;刘瑞贤
地址: 美国加*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 利用 脉冲 加宽 二极管 激光器 干涉 测量
【权利要求书】:

1.一种光学系统,包括:

二极管激光器,用于提供辐射光束,在平衡条件下驱动时,所述二极管激光器具有光谱输出带宽;以及

驱动电路,用于向所述二极管激光器施加驱动电流的脉冲,所述脉冲引起所述二极管激光器的输出波长在脉冲期间变化,使得光谱输出带宽至少比所述平衡条件下的光谱输出带宽大两倍。

2.根据权利要求1所述的系统,还包括:

光学器件,用于用所述辐射光束照射样本的区域;

检测器,用于测量从所述样本返回的光束和参考光束的干涉;以及

处理器,用于将测量的干涉转换成所述样本的深度信息。

3.根据权利要求2所述的系统,其中,所述参考光束源自所述样本本身中或所述样本本身上。

4.根据权利要求1所述的系统,其中,所述平衡条件包括恒定电流和温度。

5.根据权利要求4所述的系统,其中,光谱输出带宽比平衡时的光谱输出带宽大至少五倍。

6.根据权利要求1所述的系统,其中,所述脉冲的时间分布包括多项式函数、指数函数以及生成所述光谱输出带宽的任何其他时变形状中的一个或多个。

7.根据权利要求1所述的系统,其中,驱动电流的所述脉冲包括脉冲的突发。

8.根据权利要求2所述的系统,其中,用连续的光场照射所述样本。

9.根据权利要求8所述的系统,其中,所述检测器是用于检测所述连续的光场的空间分辨检测器。

10.根据权利要求9所述的系统,其中,所述连续的光场是线性。

11.根据权利要求2所述的系统,其中,所述检测器是配备有区域传感器阵列的光谱仪。

12.根据权利要求11所述的系统,其中,所述检测器具有卷帘式快门功能。

13.根据权利要求11所述的系统,还包括分束器,用于将所述辐射光束分成样本臂和包含所述参考光束的参考臂,以及用于将从所述样本返回的光和所述参考臂中的光组合的返回光学器件。

14.根据权利要求13所述的系统,其中,所述分束器位于所述样本的傅立叶平面处或附近。

15.根据权利要求13所述的系统,其中,从所述参考臂返回的光绕过所述分束器或者不在进行分割的相同位置处撞击所述分束器。

16.根据权利要求13所述的系统,其中,从所述样本返回的光在所述光谱仪处与参考光组合,并且其中,从所述样本返回的光绕过所述分束器。

17.根据权利要求13所述的系统,其中,所述光谱仪包括光栅或棱镜元件,并且其中,通过所述样本臂的光学器件的至少一部分收集来自所述样本的光,随后,所述光直接传播到所述光栅或棱镜元件,而不穿过额外光学元件。

18.根据权利要求17所述的系统,其中,所述分束器位于所述区域传感器阵列的傅立叶平面处。

19.根据权利要求13所述的系统,其中,所述光谱仪包括光栅或棱镜元件,并且其中,所述光谱仪的所述光栅或棱镜元件位于所述区域传感器阵列的傅立叶平面处。

20.根据权利要求1所述的系统,其中,所述光谱输出带宽是瞬时的。

21.根据权利要求1所述的系统,其中,所述光谱输出带宽是时变的。

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