[发明专利]在传输中自动晶圆定中方法及设备

权利要求书

1.一种基底处理设备，所述基底处理设备包括：

基底传输设备，所述基底传输设备具有包括端部执行器的传输臂，所述端部执行器具有带有预定中心的参考特征，所述端部执行器被配置为基于所述预定中心保持晶圆并且在所述基底处理设备内传输所述晶圆；

至少一个臂姿态确定性特征，所述至少一个臂姿态确定性特征与所述基底传输设备构成整体并且被设置为使得所述基底处理设备的静态检测传感器在所述传输臂径向运动的情况下在传输中检测所述至少一个臂姿态确定性特征的至少一个边缘；以及

控制器，所述控制器可通信地联接至所述基底传输设备，所述控制器被配置为使得对所述至少一个边缘的检测实现对比例因子的确定，所述比例因子在所述传输臂径向运动的情况下在传输中识别所述传输臂的变化；

其中，所述控制器包括运动效应解析器，所述运动效应解析器被配置为在所述传输臂径向运动的情况下在传输中通过所述静态检测传感器从对所述至少一个边缘的检测来确定所确定的比例因子和与所述传输臂的每个不同连杆相应的每个不同离散变化之间的离散关系，从而在所述传输臂径向运动的情况下在传输中确定所述传输臂的变化。

2.根据权利要求1所述的基底处理设备，其中，所述运动效应解析器被配置为使得在与所确定的比例因子的确定关系中实现在与每个不同连杆相应的每个不同离散变化之间进行区分。

3.根据权利要求1所述的基底处理设备，其中，所述运动效应解析器被配置为使得基于对所述至少一个边缘的检测来实现在每个不同离散变化之间进行区分。

4.根据权利要求1所述的基底处理设备，其中，所述运动效应解析器被配置为在所述传输臂径向运动的情况下在传输中通过所述静态检测传感器从对所述至少一个边缘的检测来确定与所述传输臂的每个不同连杆相应的不同离散变化的非线性运动效应的贡献，从而在所述传输臂径向运动的情况下在传输中确定所述臂的变化。

5.根据权利要求4所述的基底处理设备，其中，所述运动效应解析器被配置为使得在确定所述臂的变化的非线性运动效应的所确定的贡献中实现在与所述传输臂的每个不同连杆或者不同轮相应的不同贡献的非线性运动效应之间进行区分。

6.根据权利要求4所述的基底处理设备，其中，所述运动效应解析器被配置为使得在确定所述臂的变化的非线性运动效应的所确定的贡献中实现在与所述传输臂的至少一个不同连杆或者不同轮的不同贡献的非线性运动效应之间进行区分。

7.根据权利要求1所述的基底处理设备，其中，所述运动效应解析器被配置为使得基于对所述至少一个边缘的检测来实现在不同贡献的非线性运动效应之间进行区分。

8.根据权利要求1所述的基底处理设备，其中，所述至少一个臂姿态确定性特征具有确定性配置，以便在与所确定的比例因子的确定关系中实现在与每个不同连杆相应的每个不同离散变化之间进行区分。

9.根据权利要求1所述的基底处理设备，其中，所述至少一个姿态确定性特征被配置为使得在所述至少一个边缘在传输中的传输臂径向运动中仅经过所述静态检测传感器一次的情况下实现在与所述传输臂的每个不同连杆相应的每个不同离散变化之间进行区分，从而使得所述静态检测传感器在传输中检测所述至少一个边缘。

10.根据权利要求1所述的基底处理设备，其中，所述传输臂是3连杆选择顺应性装配机械手臂，并且所述至少一个姿态确定性特征被配置为使得实现在与所述3连杆选择顺应性装配机械手臂的每个不同连杆相应的每个不同离散变化之间进行区分。

11.根据权利要求1所述的基底处理设备，其中，所述端部执行器是具有晶圆保持站的自定中端部执行器，所述晶圆保持站具有预定中心，所述端部执行器被配置为将所述晶圆保持在所述晶圆保持站处并且在所述基底处理设备内传输所述晶圆。