[发明专利]标印装置

说明书

提供标印装置，其能够以简单结构实现高速且微细地描绘。具体而言，标印装置(1)具有：激光加工部(3)，其按照第1点径(303)和点径比第1点径(303)小的第2点径(304)对膜(100)进行标印；致动器(71)，其对激光加工部(3)的点径进行变更；以及作为部分描绘图案登记部的装置PC(7)，其对第1描绘图案(115)和第2描绘图案(117)进行登记，所述第1描绘图案(115)按照第1点径(303)描绘，是构成整体描绘图案(113)的一部分的图案，所述第2描绘图案(117)按照第2点径(304)描绘，是构成整体描绘图案(113)的一部分的图案。

技术领域

本发明涉及标印装置。

背景技术

标印装置是对半导体器件、液晶显示器用基板、电子部件等被加工物印刷(标印)文字、符号、图形、布线图案等规定的形状的装置。

作为具体的标印装置，提出了激光标印装置(例如，专利文献1)，其使激光按照规定的点径收敛而照射到被加工物的表面并且在二维方向上进行扫描，从而在被加工物的表面上标印文字或图形。

另外，作为激光标印装置的结构，还公知有如下的结构：将从1台激光单元照射的1条脉冲激光分配至多个光路而进行加工(例如，专利文献2)。

另外，作为激光标印装置的结构，还提出了如下的结构：当在三维的加工面上进行激光印刷时，根据从聚光透镜到加工面的距离对激光的点径进行调整(例如，专利文献3)。

另一方面，在专利文献1～3所示的技术中，存在难以兼顾加工精度和作业时间的缩短的问题。

具体而言，在专利文献1、3所示的技术中，虽然用于标印的激光的点径越大越能够缩短作业时间，但由于无法进行微细的图案描绘，因此存在加工精度变差这样的问题。另一方面，虽然用于标印的点径越小则越能够进行微细的图案描绘因此加工精度提高，但由于加工时间变长，因此存在作业时间的缩短很困难这样的问题。

另外，如专利文献2所示，在从1个激光源将多个激光分配至多个光路而进行标印的技术中，虽然与仅使用1个光路进行标印的情况相比能够缩短作业时间，但存在无法提高加工精度这样的问题，并且仍然存在加工精度和作业时间的缩短处于此消彼长的关系的问题。

因此，提出了如下的装置：将按照各自不同的点径进行描绘的多个激光单元组合，从而高速且微细地进行标印(专利文献4)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-66611号公报

专利文献2：日本特开2005-74479号公报

专利文献3：日本特开2009-285693号公报

专利文献4：日本特开2015-160235号公报

发明内容

发明要解决的课题

专利文献4所记载的装置在能够同时实现加工精度的提高和作业时间的缩短的方面有用。

另一方面，在专利文献4所记载的装置中，当未预先使多个激光单元的描绘位置精度始终恒定时，有可能在利用各个激光单元描绘的图案上产生描绘遗漏(间隙)。因此，存在需要在各激光单元之间进行复杂的精度校正作业这样的问题。

另外，在专利文献4所记载的装置中，需要多个激光单元，但在由于要描绘的图案较小等原因而仅需要使用点径小的激光单元的情况下，不使用点径大的激光单元，因此成为浪费的结构。因此，存在有时相对于要描绘的图案，装置结构复杂、昂贵这样的问题。

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供标印装置，其能够以简单结构实现高速且微细地描绘。

用于解决课题的手段