[发明专利]外延生长用取向氧化铝基板有效
| 申请号： | 201680050576.6 | 申请日： | 2016-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN108137411B | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 渡边守道;佐藤圭;松岛洁;七泷努 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/111 | 分类号： | C04B35/111 |
| 代理公司： | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人： | 王轶;陈东升 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 外延 生长 取向 氧化铝 | ||
【权利要求书】：
1.一种外延生长用取向氧化铝基板，其特征在于，
构成表面的晶体粒子的倾斜角为0.1°以上且小于1.0°，
平均烧结粒径为10μm以上。
2.根据权利要求1所述的外延生长用取向氧化铝基板，其特征在于，
构成表面的晶体粒子的平均烧结粒径为20μm以上。
3.根据权利要求1或2所述的外延生长用取向氧化铝基板，其特征在于，
Na、Mg、Si、P、Ca、Fe、Ti、Zn各自的含量为1500ppm以下。
4.根据权利要求1或2所述的外延生长用取向氧化铝基板，其特征在于，
Mg的含量为15ppm以上。
5.根据权利要求3所述的外延生长用取向氧化铝基板，其特征在于，
Mg的含量为15ppm以上。
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