[发明专利]自相关测量装置

说明书

自相关测量装置(1A)包括第一反射部件(10A)、第二反射部件(20A)、聚光部(30)、非线性光学结晶(40)、检测部(50)、过滤部(60)、孔隙部(61)、延迟调整部(70A)和分析部(80)。入射脉冲光(L₀)透过第二反射部件(20A)而入射至第一反射部件(10A)。在第一反射部件(10A)的第一反射面(11)和第二反射部件(20A)的第二反射面(22)反射的第一脉冲光(L₁)以及在第一反射部件(10A)的第二反射面(12)和第二反射部件(20A)的第一反射面(21)反射的第二脉冲光(L₂)，经由聚光部(30)入射至非线性光学结晶(40)。由非线性光学结晶(40)产生的二次谐波光(L_SH)被检测部(50)检测。由此可以实现能够小型化的自相关测量装置。

技术领域

本发明涉及基于脉冲光的自相关测量该脉冲光的脉冲宽度的自相关测量装置。

背景技术

在脉冲光的脉冲宽度短时(例如10皮秒以下的情况)，在其脉冲宽度的测量中，采用使用通过该脉冲光的入射能够产生二次谐波光的非线性光学结晶的SHG(SecondHarmonic Generation，二次谐波)自相关测量装置。专利文献1、2和非专利文献1中记载了这样的自相关测量装置。

现有的自相关测量装置包括具有分光器、固定反射部和可动反射部的迈克耳逊干涉仪。入射脉冲光由分光器2分支成为第一脉冲光和第二脉冲光。第一脉冲光被固定反射部反射而回到分光器，第二脉冲光被可动反射部反射而回到分光器。回到分光器的第一脉冲光和第二脉冲光经由分光器入射至非线性光学结晶。

在第一脉冲光和第二脉冲光入射至的非线性光学结晶产生二次谐波光，该二次谐波光被检测部检测。可动反射部可移动，通过其移动，入射至非线性光学结晶的第一脉冲光与第二脉冲光之间的延迟时间发生变化。此外，由于该延迟时间的变化，检测部的检测结果发生变化。由此，能够基于该延迟时间与检测部的检测结果的关系分析入射脉冲光的脉冲宽度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平7-270246号公报

专利文献2：日本专利第3736410号公报

非专利文献：

非专利文献1：长沼和则，“超短脉冲光的计测”，光学，第30卷，第12号，pp.834-844(2001)

发明内容

发明要解决的课题

现有的自相关测量装置包括具有分光器等的迈克耳逊干涉仪，第一脉冲光和第二脉冲光从该分光器向彼此不同的方向出射。由此，现有的自相关测量装置的构成复杂且大型。

本发明为了解决上述问题而提出，其目的在于提供能够实现小型化的自相关测量装置。

用于解决课题的技术方案

本发明的自相关测量装置包括：(1)第一反射部件，其具有使入射脉冲光的一部分反射的第一反射面和使该入射脉冲光中透过该第一反射面的光反射的第二反射面；(2)第二反射部件，其具有使从第一反射部件出射的光的一部分反射的第一反射面和使该光中透过该第一反射面的光反射的第二反射面；(3)聚光部，其对在第一反射部件的第一反射面和第二反射部件的第二反射面反射的第一脉冲光和在第一反射部件的第二反射面和第二反射部件的第一反射面反射的第二脉冲光进行聚光；(4)非线性光学结晶，其配置于由聚光部产生的聚光位置，通过第一脉冲光和第二脉冲光的入射而产生二次谐波光；(5)检测部，其对二次谐波光进行检测；(6)延迟调整部，其使入射至非线性光学结晶的第一脉冲光与第二脉冲光之间的延迟时间变化；和(7)分析部，其基于由延迟调整部设定的延迟时间与检测部的检测结果的关系，求取入射脉冲光的脉冲宽度。

发明效果