[发明专利]复合传感器

说明书

一种复合传感器，具备作为对电路基板(300)的噪声屏蔽部而发挥功能的第1屏蔽图案(91)、作为对第1传感器(100)的噪声屏蔽部而发挥功能的第2屏蔽图案(92)、以及作为对第2传感器(200)的噪声屏蔽部而发挥功能的第3屏蔽图案(93)。并且，第1屏蔽图案(91)的阻抗比第2、第3屏蔽图案(92)、(93)低，将第2屏蔽图案(92)与第3屏蔽图案(93)经由第1屏蔽图案(91)电连接。由此，能够抑制因电噪声而导致检测精度下降。

相关申请的相互参照

本申请基于2015年8月21日申请的日本申请号2015-163890号，在此援引其记载内容。

技术领域

本公开涉及一种检测对象不同的第1、第2传感器被搭载在共同的被搭载构件上的复合传感器。

背景技术

以往，作为这种复合传感器，例如在专利文献1中提出了将输出与加速度相应的传感器信号的加速度传感器和输出与角速度相应的传感器信号的角速度传感器搭载在共同的被搭载构件的一面上的复合传感器。

具体地说，在该复合传感器中，加速度传感器及角速度传感器均经由由导电性构件等构成的连接构件连接到被搭载构件的一面上。并且，将角速度传感器和被搭载构件的一面连接的连接构件的高度比将加速度传感器和被搭载构件的一面连接的连接构件的高度高。另外，角速度传感器例如是利用了压电体的压电效应的压电式，若在使驱动振动片振动的状态下被施加角速度，则输出与角速度相应的传感器信号(电荷)。

由此，由于将角速度传感器与被搭载构件连接的连接构件的高度比将加速度传感器与被搭载构件连接的连接构件的高度高，因此能够抑制角速度传感器的振动向加速度传感器传达。因此，能够抑制角速度传感器的振动成为对加速度传感器的噪声(机械噪声)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-13207号公报

发明内容

然而，在这种复合传感器中，为了抑制电噪声对加速度传感器及角速度传感器的影响，存在在被搭载构件上形成有维持基准(接地)电位的屏蔽图案(Shield pattern)的情况。

但是，在形成屏蔽图案的情况下，若将对角速度传感器的屏蔽图案和对加速度传感器的屏蔽图案设为共同的屏蔽图案，则存在噪声在各传感器之间相互干扰的情况，由此检测精度下降。

本公开的目的在于提供一种能够抑制因电噪声而导致检测精度下降的复合传感器。

根据本公开的第一方式，复合传感器具备第1传感器、第2传感器、电路基板、被搭载构件、第1屏蔽图案、第2屏蔽图案及第3屏蔽图案。第1传感器输出与检测对象相应的第1传感器信号。第2传感器输出与不同于第1传感器的检测对象的检测对象相应的第2传感器信号。电路基板与第1、第2传感器电连接。被搭载构件具有一面，在一面上配置第1、第2传感器及电路基板。第1屏蔽图案作为对电路基板的噪声屏蔽部而发挥功能。第2屏蔽图案作为对第1传感器的噪声屏蔽部而发挥功能。第3屏蔽图案作为对第2传感器的噪声屏蔽部而发挥功能。第1屏蔽图案的阻抗比第2、第3屏蔽图案低。第2屏蔽图案与第3屏蔽图案经由第1屏蔽图案电连接。

由此，第2屏蔽图案及第3屏蔽图案经由阻抗最低的第1屏蔽图案连接。因此，能够抑制施加到第2屏蔽图案的噪声向第3屏蔽图案传播，并且能够抑制被施加到第3屏蔽图案的噪声向第2屏蔽图案传播。因此，能够抑制电噪声在第1、第2传感器之间相互干扰，能够抑制检测精度下降。

附图说明

本公开的上述目的及其他目的、特征及优点通过参照附图进行的下述详细说明将得到进一步明确。在附图中：

图1是本公开的第1实施方式的复合传感器的俯视图。

图2是沿着图1所示的II-II线的剖视图。