[发明专利]净化装置、净化储料器以及净化气体的供给方法

权利要求书

1.一种净化装置，具备：

多个载置部，供容器载置，且被分组化；

喷嘴，形成为通过在上述载置部载置上述容器来开放朝上述容器供给净化气体的流路；以及

流量控制装置，基于上述组内的上述容器的个数来调整朝上述组内供给的上述净化气体的流量。

2.根据权利要求1所述的净化装置，其中，

上述载置部分别具有检测是否载置有上述容器的检测部。

3.根据权利要求1或2所述的净化装置，其中，

上述喷嘴具有当在上述载置部未载置上述容器的状态下借助上述净化气体的压力来封闭流路的盖部，

当在上述载置部载置有上述容器的情况下，上述盖部借助上述容器的重量来开放上述流路。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的净化装置，其中，

当在上述组内载置有新的上述容器的情况下，上述流量控制装置使上述净化气体的流量暂时减少然后使其逐渐增加至预定流量。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的净化装置，其中，

将沿水平方向或者铅垂方向排列的上述多个载置部作为上述组。

6.一种净化储料器，其中，

具备多个权利要求1～5中任一项所述的净化装置。

7.根据权利要求6所述的净化储料器，其中，

具备输送装置，该输送装置能够沿着上述净化装置的上述多个载置部行进，相对于上述载置部移载上述容器，

上述净化装置的上述流量控制装置集中配置在上述输送装置的行进范围的端部侧。

8.一种净化气体的供给方法，是对在被分组化的多个载置部载置的容器供给净化气体的方法，包括：

通过在上述载置部载置上述容器来开放朝上述容器供给净化气体的流路；以及

基于上述组内的上述容器的个数来调整朝上述组内供给的上述净化气体的流量。