[发明专利]固态微波发生器和功率放大器有效
| 申请号: | 201680043472.2 | 申请日: | 2016-05-11 | 
| 公开(公告)号: | CN107852140B | 公开(公告)日: | 2019-04-16 | 
| 发明(设计)人: | M·加卢提;M·莫雷斯;R·卡佩罗;P·巴洛基;C·博蒂;F·加卢提 | 申请(专利权)人: | MKS仪器公司 | 
| 主分类号: | H03F3/60 | 分类号: | H03F3/60;H03F3/195;H03F3/21 | 
| 代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 康艳青;姚开丽 | 
| 地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 固态 微波 发生器 功率放大器 | ||
1.一种功率放大器系统,包括:
第一功率放大器单元,用于接收输入功率信号并提供输出功率信号,所述输出功率信号具有比所述输入功率信号高的功率;
功率分配器单元,用于接收来自第一功率放大器单元的所述输出功率信号并产生多个分离的功率输入信号,所述多个分离的功率输入信号中的每一个与另一个同相;
第二功率放大器单元,用于接收所述多个分离的功率输入信号,所述多个分离的功率输入信号中的每一个与另一个同相,所述第二功率放大器单元包括多个功率放大器,所述第二功率放大器单元的所述多个功率放大器中的每一个被配置为接收所述多个分离的功率输入信号中的一个并提供多个分离的功率输出信号中的一个;
至少一个隔离器单元,用于将所述第二功率放大器单元的所述多个功率放大器中的至少一个与功率合并器单元耦合;以及
功率合并器单元,用于经由所述至少一个隔离器单元从所述第二功率放大器单元接收所述多个分离的功率输出信号并且将所述多个分离的功率输出信号合并成至少800W且频率在2.0GHz和3.0GHz之间的统一的功率输出。
2.根据权利要求1所述的系统,包括:
定向耦合器,被配置为接收来自所述功率合并器单元的所述统一的功率输出,并提供所述统一的功率输出作为所述功率放大器系统的输出。
3.根据权利要求1所述的系统,包括:
包括三个功率放大器装置的第一功率放大器单元。
4.根据权利要求1所述的系统,其中,所述第一功率放大器单元包括彼此串联连接的至少两个功率放大器。
5.根据权利要求1所述的系统,其中,所述功率放大器系统是微波发生器的一部分。
6.根据权利要求1所述的系统,其中,所述功率分配器单元包括耦合到第二功率分配器装置和第三功率分配器装置二者的第一功率分配器装置,包括:
所述第一功率分配器装置被配置为从所述第一功率放大器单元接收所述输出功率信号;
所述第二功率分配器装置被配置为将所述多个分离的功率输出信号中的第一功率输出信号提供给所述第二功率放大器单元的所述多个功率放大器中的第一功率放大器,并且将所述多个分离的功率输出信号中的第二功率输出信号提供给所述第二功率放大器单元的所述多个功率放大器中的第二功率放大器;以及
所述第三功率分配器装置被配置成将所述多个分离的功率输出信号中的第三功率输出信号提供给所述第二功率放大器单元的所述多个功率放大器中的第三功率放大器,并且将所述多个分离的功率输出信号中的第四功率输出信号提供给所述第二功率放大器单元的所述多个功率放大器中的第四功率放大器。
7.根据权利要求1所述的系统,其中:
所述第一功率放大器单元确切地包括串联配置的三个功率放大器装置;
所述功率分配器单元确切地包括三个功率分配器装置;
所述第二功率放大器单元确切地包括并联配置的四个功率放大器;
所述至少一个隔离器单元确切地包括四个隔离器装置;以及
所述功率合并器单元确切地包括三个功率合并器装置。
8.根据权利要求1所述的系统,包括:
所述功率放大器系统设置在屏蔽金属外壳中,所述屏蔽金属外壳具有流体冷却通道。
9.根据权利要求1所述的系统,其中,所述统一的功率输出具有在2.40GHz与2.50GHz之间的频率。
10.根据权利要求1所述的系统,其中,所述多个分离的功率输出信号确切地包括彼此基本同相的四个分离的功率输出信号。
11.根据权利要求1所述的系统,包括:
所述功率合并器单元包括至少部分地限定腔室的聚四氟乙烯(PTFE)元件;以及
导体元件,所述导体元件至少部分地设置在所述腔室中。
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