[发明专利]温度控制装置和自动调谐方法

权利要求书

1.一种温度控制装置，按照控制参数来控制利用加热体对被加热体进行加热的加热系统的所述被加热体的温度，所述温度控制装置的特征在于包括：

目标设定部，设定目标温度、以及达到所述目标温度为止的期间内的温度相对于时间的目标变化率；

上限值设定部，设定所述加热体的操作量的上限值；

加热处理部，利用所述上限值设定部所设定的上限值对所述加热体进行操作，以使所述被加热体的温度达到所述目标温度；以及

判定部，在每个规定时间，进行判定处理，判定表示所述被加热体的实测温度与以所述目标变化率表示的温度轨迹的偏差的偏差量是否在规定范围之外，

所述上限值设定部是在所述加热处理部开始朝向所述目标温度的所述加热体的操作时，将预先设定的初始值设为所述上限值，在所述被加热体的温度达到所述目标温度为止的期间内，判定为所述偏差量在所述规定范围之外时，对所述上限值进行更新，以使所述偏差量减小，

所述温度控制装置进而包括：参数设定部，在所述被加热体的温度已达到所述目标温度时，将所述上限值设定部所设定的上限值设定为所述控制参数，所述判定部在所述加热处理部开始所述加热体的操作之后规定期间内，不进行所述判定处理。

2.根据权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于：

所述目标设定部是设定第1个至第N个(N为2以上的整数)目标温度、从初始状态至达到第1个目标温度为止的期间内的第1个目标变化率、以及从第(k－1)个(k为2～N的整数)目标温度至达到第k个目标温度为止的期间内的第k个目标变化率，作为所述目标温度和所述目标变化率，

所述加热处理部是在所述被加热体的温度达到第(k－1)个目标温度之后，使所述加热体进行操作，以使所述被加热体的温度达到第k个目标温度，

所述判定部是在所述加热处理部使所述加热体朝向第n个(n为1～N的整数)目标温度进行操作时，进行如下处理作为所述判定处理，即，判定表示所述实测温度与以第n个目标变化率表示的温度轨迹的偏差的偏差量是否在规定范围之外，

所述参数设定部是针对第1个目标温度至第N个目标温度，分别设定所述控制参数。

3.根据权利要求2所述的温度控制装置，其特征在于：所述判定部在从所述被加热体的温度达到第(k－1)个目标温度起至所述加热处理部开始朝向第k个目标温度的所述加热体的操作为止的期间内，不进行所述判定处理。

4.根据权利要求2或3所述的温度控制装置，其特征在于：所述判定部在所述加热处理部开始朝向第k个目标温度的所述加热体的操作之后规定期间内，不进行所述判定处理。

5.根据权利要求2或3所述的温度控制装置，其特征在于：在所述被加热体的温度达到第(k－1)个目标温度之后，所述加热处理部开始朝向第k个目标温度的所述加热体的操作时，所述上限值设定部将所述参数设定部针对第(k－1)个目标温度设定为所述控制参数的上限值，设为针对第k个目标温度的所述初始值。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的温度控制装置，其特征在于包括：

实测变化率计算部，基于所述实测温度，算出温度相对于所述被加热体的时间的实测变化率；并且

所述判定部将所述实测变化率与所述目标变化率的比较结果设为所述偏差量。

7.根据权利要求6所述的温度控制装置，其特征在于：所述上限值设定部是在判定为所述偏差量在所述规定范围之外时，在所述实测变化率低于所述目标变化率的情况下使所述上限值仅提高规定量，在所述实测变化率高于所述目标变化率的情况下使所述上限值仅降低规定量。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的温度控制装置，其特征在于：所述判定部是将所述实测温度与根据所述目标变化率而算出的理想温度的比较结果设为所述偏差量。