[发明专利]溅射靶材有效
| 申请号： | 201680038366.5 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN107735504B | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 长谷川浩之;松原庆明 | 申请（专利权）人： | 山阳特殊制钢株式会社 |
| 主分类号： | C22C30/00 | 分类号： | C22C30/00;B22F3/00;C22C5/06;C22C9/00;C22C9/01;C22C9/02;C22C9/04;C22C9/05;C22C9/06;C22C9/10;C22C13/00;C22C14/00;C22C16/00;C22C |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张玉玲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 | ||
1.一种烧结合金，其含有：Mn；
由Ga、Zn、Sn、Ge、Al、Co中的一种或两种以上构成的A群元素；和
根据需要，由Fe、Ni、Cu、Ti、V、Cr、Si、Y、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Ag、In、Ta、W、Re、Ir、Pt、Au、Bi、La、Ce、Nd、Sm、Gd、Tb、Dy、Ho中的一种或两种以上构成的B群元素，
且余量是不可避免的杂质，
其中，
所述烧结合金具有从如下Mn相构成的群中选择的一种或两种以上的Mn相：
第一Mn相：以Mn:Ga＝98:2～73:27的原子个数比含有Mn和Ga，且Ga以外的A群元素和B群元素的合计量为20at％以下；
第二Mn相：以Mn:Zn＝98:2～64:36的原子个数比含有Mn和Zn，且Zn以外的A群元素和B群元素的合计量为20at％以下；
第三Mn相：以Mn:Sn＝98.5:1.5～74:26的原子个数比含有Mn和Sn，且Sn以外的A群元素和B群元素的合计量为20at％以下；
第四Mn相：以Mn:Ge＝98.5:1.5～79:21的原子个数比含有Mn和Ge，且Ge以外的A群元素和B群元素的合计量为20at％以下；
第五Mn相：以Mn:Al＝98:2～49:51的原子个数比含有Mn和Al，且Al以外的A群元素和B群元素的合计量为20at％以下；和
第六Mn相：以Mn:Co＝96:4～51:49的原子个数比含有Mn和Co，且Co以外的A群元素和B群元素的合计量为20at％以下。
2.根据权利要求1所述的烧结合金，其中，
含有Mn 10～98.5at％，
含有A群元素合计为1.5～75at％，
含有B群元素合计为0～62at％，
余量是不可避免的杂质。
3.根据权利要求1所述的烧结合金，其中，第一Mn相～第六Mn相的合计面积率为10％以上。
4.根据权利要求1所述的烧结合金，其中，大小为2μm以上的第一Mn相～第六Mn相的密度在每30000μm2中为1个以上。
5.根据权利要求1所述的烧结合金，其中，大小为2μm以上的第一Mn相～第六Mn相的密度在每3000μm2中为1个以上。
6.根据权利要求1所述的烧结合金，其中，相对密度为90％以上。
7.根据权利要求1所述的烧结合金，其中，抗折强度为100MPa以上。
8.一种溅射靶材，其含有权利要求1所述的烧结合金而成。
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