[发明专利]固体摄像装置

权利要求书

1.一种固体摄像装置，其特征在于：

具备：受光部，在具有互相相对的第1主面以及第2主面的半导体基板的所述第1主面上具有多个像素；信号读出部，输出对应于分别从所述多个像素输出的电荷的量的信号值；及控制部，分别控制所述受光部以及所述信号读出部各自的动作，

所述多个像素各自分别包含：多个埋入式光电二极管，对应于各个光入射使电荷产生并将该电荷蓄积于结电容部；电容部，蓄积从该多个光电二极管各自的结电容部被传送来的电荷；传送用开关组，用于从所述多个光电二极管各自的结电容部向所述电容部传送电荷；及输出用开关，用于从所述电容部向所述信号读出部输出电荷，

所述控制部，

使经过整个共同的电荷蓄积期间分别在所述多个像素上对应于光入射产生的电荷蓄积于各个光电二极管的结电容部，

所述电荷蓄积期间之后分别在所述多个像素上将所述传送用开关组设为开启状态并从各个光电二极管的结电容部使电荷传送至所述电容部，

所述控制部在该电荷传送后分别就所述多个像素依次将所述输出用开关设为开启状态并从所述电容部使电荷向所述信号读出部输出。

2.如权利要求1所述的固体摄像装置，其特征在于：

所述电容部被设置于所述半导体基板的所述第1主面上，并且通过第1导电体层和第2导电体层夹住绝缘体层来构成。

3.如权利要求1或者2所述的固体摄像装置，其特征在于：

在以垂直于所述第1主面的方向看时，所述多个像素的各个中所述光电二极管的配置区域和所述电容部的配置区域彼此以至少一部分重叠。

4.如权利要求1～3中任意一项所述的固体摄像装置，其特征在于：

所述多个像素各自进一步包含用于对所述多个光电二极管各自的结电容部的电荷蓄积实行初始化的初始化用开关组，

在所述电荷蓄积期间之前分别在所述多个像素中将所述初始化用开关组设为开启状态并对各个光电二极管的结电容部的电荷蓄积实行初始化。

5.如权利要求1～4中任意一项所述的固体摄像装置，其特征在于：

进一步具备设置于所述半导体基板的所述第2主面侧的闪烁器层。

6.如权利要求1～5中任意一项所述的固体摄像装置，其特征在于：

进一步具备支撑设置于所述半导体基板的所述第1主面侧的所述半导体基板的支撑基板。

7.如权利要求6所述的固体摄像装置，其特征在于：

所述信号读出部被设置于所述支撑基板上。

8.如权利要求1～5中任意一项所述的固体摄像装置，其特征在于：

所述信号读出部被设置于所述半导体基板的所述第1主面上。

9.如权利要求1～8中任意一项所述的固体摄像装置，其特征在于：

在所述半导体基板的所述第2主面侧选择性地减薄所述多个像素的各自的所述光电二极管的光检测区域。