[发明专利]超声波换能器及超声波检查装置

权利要求书

1.一种超声波换能器，包括：

单元阵列区域，其形成有多个单元；以及

周边区域，其与所述单元阵列区域相邻接，

所述多个单元各自具有：

基板；

第一电极，其形成于所述基板上；

第一绝缘膜，其形成于所述第一电极上；

空洞部，其形成于所述第一绝缘膜上，且在俯视时与所述第一电极重叠；

第二绝缘膜，其形成于所述空洞部上；

第二电极，其形成于所述第二绝缘膜上，且在俯视时与所述空洞部重叠；

第三绝缘膜，其形成于所述第二电极上；

梁结构体，其形成于所述第三绝缘膜上，且在俯视时与所述空洞部重叠；以及

第四绝缘膜，其覆盖所述梁结构体，且形成于所述第三绝缘膜上，

在所述周边区域形成有：

所述第三绝缘膜；

多个图案结构体，其形成于所述第三绝缘膜上，与所述梁结构体由相同材料形成，并且所述多个图案结构体的配置图案的至少一部分与多个所述梁结构体的配置图案相同，但所述多个图案结构体的配置图案不与多个所述梁结构体的配置图案完全相同；以及

所述第四绝缘膜，其覆盖所述多个图案结构体。

2.根据权利要求1所述的超声波换能器，其中，

利用所述梁结构体和所述多个图案结构体各自在所述第三绝缘膜上形成有凸形。

3.根据权利要求1所述的超声波换能器，其中，

所述梁结构体是用厚度/宽度表示的纵横比在构成所述多个单元各自的构成要素中最大的构成要素。

4.根据权利要求1所述的超声波换能器，其中，

在所述周边区域形成有：

第一配线，其与所述第一电极电连接；

第一插头，其与所述第一配线电连接；

第二配线，其与所述第二电极电连接；以及

第二插头，其与所述第二配线电连接。

5.根据权利要求4所述的超声波换能器，其中，

所述多个图案结构体配置于在俯视时与所述第一插头和所述第二插头不重叠的位置。

6.根据权利要求4所述的超声波换能器，其中，

所述多个图案结构体的一部分在俯视时配置于与所述第一配线重叠的位置。

7.根据权利要求4所述的超声波换能器，其中，

所述多个图案结构体的一部分配置于在俯视时与所述第二配线重叠的位置。

8.根据权利要求4所述的超声波换能器，其中，

所述周边区域包括：

第一引出区域，其形成有所述第一配线和所述第一插头；

第二引出区域，其形成有所述第二配线和所述第二插头；

第一外缘区域，其是所述第一引出区域的外侧区域；以及

第二外缘区域，其是所述第二引出区域的外侧区域。

9.根据权利要求8所述的超声波换能器，其中，

所述多个图案结构体配置于所述第一外缘区域。

10.根据权利要求8所述的超声波换能器，其中，

所述多个图案结构体配置于所述第二外缘区域。

11.根据权利要求8所述的超声波换能器，

所述多个图案结构体配置于所述第一外缘区域和所述第二外缘区域。

12.根据权利要求1所述的超声波换能器，其中，

在所述基板的厚度方向上，在所述多个图案结构体中的一部分图案结构体与所述基板之间仅夹有绝缘膜。