[发明专利]用于在位移装置上可控制地移动一个或多个可移动台的方法和系统

权利要求书

1.一种用于相对于定子可控制地移动一个或多个可移动台的系统，所述系统包括：

一个或多个可移动台，所述一个或多个可移动台中的每一个可移动台包括一个或多个磁化元件，每个磁化元件具有对应的磁化方向，所述一个或多个可移动台包括第一可移动台；

定子，其包括多个扇区，每个扇区包括多个线圈迹线，所述多个扇区还包括包含第一多个线圈迹线的第一扇区和包含第二多个线圈迹线的第二扇区；

第一控制器和与所述第一扇区相关联的一个或多个第一放大器，所述第一控制器和所述一个或多个第一放大器被连接以可控制地驱动来自所述第一多个线圈迹线中的一个或多个第一线圈迹线组中的第一电流；

第二控制器以及与所述第二扇区相关联的一个或多个第二放大器，所述第二控制器和所述一个或多个第二放大器被连接以可控制地驱动来自所述第二多个线圈迹线中的一个或多个第二线圈迹线组中的第二电流；

所述第一控制器和第二控制器经由所述第一控制器和所述第二控制器之间的扇区链路彼此进行双向通信；

其中所述第一控制器配置成以从一个或多个第二线圈迹线组中确定用于特定第二线圈迹线组的特定第二基准电流指令，并且经由在所述第一控制器与所述第二控制器之间的扇区链路将所述特定第二基准电流指令传送到所述第二控制器；

其中所述第二控制器配置成至少部分基于所述特定第二基准电流指令来确定用于所述特定第二线圈迹线组的特定第二最终基准电流，并且所述第二控制器和所述一个或多个第二放大器被连接以驱动电流进入所述特定第二线圈迹线组并且使所述特定第二线圈迹线组中的电流遵循所述特定第二最终基准电流，由此引起与所述第一可移动台的所述一个或多个磁化元件的相互作用，这引起所述第一可移动台相对于所述定子的相应移动。

2.根据权利要求1所述的系统，其中：

所述一个或多个可移动台包括第二可移动台；

所述第二控制器被配置为从一个或多个第一线圈迹线组中确定用于特定第一线圈迹线组的特定第一基准电流指令，并且经由所述第一控制器和所述第二控制器之间的扇区链路将所述特定第一基准电流指令传送至所述第一控制器；并且

所述第一控制器被配置为至少部分地基于所述特定第一基准电流指令来确定所述特定第一线圈迹线组的特定第一最终基准电流，并且所述第一控制器和所述一个或多个第一放大器被连接以驱动电流进入所述特定第一线圈迹线组并且使得所述特定第一线圈迹线组中的电流遵循所述特定第一最终基准电流，由此引起与所述一个或多个可移动台中的第二个可移动台的所述一个或多个磁化元件的相互作用，这引起所述一个或多个可移动台中的第二个可移动台相对于所述定子的相应移动。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述特定第二线圈迹线组包括特定第二X线圈迹线组，该特定第二X线圈迹线组在定子X方向上线性伸长的多个线圈迹线中的一个线圈迹线，并且其中：

所述第一控制器被配置为：

确定用于来自所述一个或多个第二线圈迹线组中的特定第二Y线圈迹线组的特定第二Y基准电流指令；并且

通过所述第一控制器和所述第二控制器之间的扇区链路将所述特定第二Y基准电流指令传送给所述第二控制器；

所述第二控制器被配置为至少部分地基于所述特定第二Y基准电流指令来确定用于所述特定第二Y线圈迹线组的特定第二Y最终基准电流，并且所述第二控制器和所述一个或多个第二放大器被连接以将电流驱动到所述特定第二Y线圈迹线组中，并且使得所述特定第二Y线圈轨线组中的电流遵循所述特定第二Y最终基准电流，由此引起与所述第一可移动台的所述一个或多个磁化元件的相互作用，这引起所述第一可移动台相对于所述定子的相应移动；并且

所述特定第二Y线圈迹线组包括一个或多个线圈迹线，所述线圈迹线在与所述定子X方向不平行的定子Y方向上线性伸长。

4.根据权利要求3所述的系统，其中所述定子X方向和所述定子Y方向大致彼此正交。

5.根据权利要求3所述的系统，其中，所述特定第二X线圈迹线组和所述特定第二Y线圈迹线组在与定子X和定子Y方向正交的定子Z方向彼此重叠。