[发明专利]换能器转移堆叠体

说明书

本发明涉及一种转移堆叠体(TS)，该转移堆叠体(TS)用于将箔片的在周边(P)内的包括换能器(T)的部分转移到诸如医用装置或医用针的物体(A)。该转移堆叠体包括载体衬底(CS)以及在其内包括换能器(T)的箔片(F)，并且该换能器被周边(P)侧向地围绕。箔片(F)能够通过克服第一剥离保持力(PRF1)而与载体衬底(CS)分离。粘合剂层(AL)也被附接至该箔片。粘合剂层(AL)被构造成提供箔片(F)和物体(A)之间的粘合，使得当物体(A)经由粘合剂层(AL)附接至该箔片时，箔片(F)能够通过克服第二剥离保持力(PRF2)而与物体(A)的表面分离。第二剥离保持力(PRF2)大于第一剥离保持力(PRF1)。

技术领域

本发明总体上涉及换能器组件领域，并且可用于将换能器附接至物体。更具体地，本发明涉及压电换能器与医用装置的附接，并且可用于例如将压电超声换能器附接至医用针。

背景技术

诸如微加工和平面处理的技术进步使得能够制造各种各样的换能器，这些换能器可用于从电子装置、光学、生物技术、太阳能到医用装置领域的所有产业领域。包括超声、热学、光学和机械装置的这些换能器已经能使许多感测和能量转换应用得以实现。常规上，在此类应用中使用的换能器被与其所最终用于的装置分开制造。因此，需要一种将换能器附接至其所用于的装置的方法。如目前未公开的PCT申请PCT/IB2015/052425所描述的，在医用装置领域中出现了这种需求的一个示例。在该示例中，利用层压和沉积工艺制造的压电传感器必须被附接至医用装置以在基于超声的追踪应用中使用。这种需求可能由于需要将基本平坦的装置转移到诸如导管或针的杆部的弯曲表面而加剧。

Xuefeng Zhuang等人的“具有基于PDMS回填沟槽的穿过晶片的电互连的柔性换能器阵列的制造(Fabrication of Flexible Transducer Arrays With Through‐WaferElectrical Interconnects Based on Trench Refilling With PDMS)”文献公开了一种用于绕着在侧视超声成像应用中使用的导管末端卷绕柔性换能器阵列的技术，该文章发表在2008年4月出版的《微机电系统》期刊(JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS)第17卷第2期。所公开的技术包括通过在硅衬底中形成聚合物填充的深沟槽来构造柔性的电容式微加工超声换能器(CMUT)阵列。随后使用镊子绕着导管末端的圆形横截面卷绕柔性换能器。

文献US2010/0200538A1公开了一种分析物传感器部件的制造，该分析物传感器部件包括其上沉积有剥离层的无机衬底、使电极在其间绝缘的第一柔性介电层和第二柔性介电层、接触垫以及连接电极和多个传感器的接触垫的迹线。在一个或多个电极上的其中一个介电层中设置开口，以接收用于检测所关注的分析物并用于与外部电子器件的电连接的分析物感测膜。从无机衬底上剥离多个制造好的传感器部件。

文献US2015/0126834A1涉及电化学生物传感器及化学传感器的制造。表皮生物传感器包括形成在纸基衬底的涂覆表面上用于设置电化学传感器的电极图案。该电极图案包括被构造成具体的设计布局的导电材料和电绝缘材料。粘附片材被附接在电化学传感器的具有电极图案的表面上，该粘附片材能够粘附到皮肤或可穿戴物品上，其中电化学传感器在被附接到皮肤或可穿戴物品上时可用于检测外部环境中的化学分析物。

本发明力图克服上述和其它已知的解决方案的缺点以实现这种需求及相关需求。

发明内容

本发明的目的是提供用于将换能器附接至物体的装置及方法。此外，如独立权利要求中所限定的那样，提供了一种方法和一种装置。