[发明专利]使用电动促动器的气泵装置及气泵系统

说明书

本发明提供能够通过电动使吸附垫、气动卡盘等气压设备动作的使用电动促动器的气泵装置。本发明的气泵装置(1)具备：内置有活塞(22)的气缸(6)；使用电动马达(M4)作为驱动源而使活塞(22)相对于气缸(6)相对地进行直线运动的电动促动器(A4)。利用电动促动器(A4)使气缸(6)的活塞(22)进行直线运动而产生的负压及/或正压的空气来使气压设备(4、5)动作。

技术领域

本发明涉及利用气体的负压及/或正压使气压设备动作的使用电动促动器的气泵装置以及气泵系统。

背景技术

吸附垫、气动卡盘等气压设备将压缩空气作为能量源而进行动作。压缩空气通过压缩器对大气进行压缩而作成之后通过配管向所需要的气压设备供给。

在工厂等的生产设备中，吸附垫、气动卡盘等气压设备有时与使这些设备沿X、Y、Z轴方向移动的3轴机器人组合使用。近年来，为了节省能源，将3轴机器人从使用气缸或液压缸置换为使用电动马达的电动促动器(例如，参照专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-213437号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，即使用电动促动器置换3轴机器人，吸附垫、气动卡盘等气压设备也需要压缩空气。在不能使用空气的环境下(例如检查室等)，存在需要新设置压缩器、压缩空气的配管等的大型设备的课题。

本发明是为了解决上述的课题而做成的，其目的在于提供能够通过电动使气动卡盘、吸附垫等气压设备动作的使用电动促动器的气泵装置。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明的一方案是一种使用电动促动器的气泵装置，其具备：内置有活塞的气缸；使用电动马达作为驱动源而使所述活塞相对于所述气缸相对地进行直线运动的电动促动器，利用所述电动促动器使所述活塞进行直线运动而产生的负压及/或正压的空气，来使气压设备动作。

发明效果

根据本发明，通过利用电动促动器使气缸动作，能够产生空气的负压及/或正压，通过电动使吸附垫、气动卡盘等气压设备动作。

附图说明

图1是本发明的实施方式的气泵系统的立体图。

图2是本发明的实施方式的气泵装置的立体图。

图3是本实施方式的气泵装置的侧视图。

图4是本实施方式的气泵装置的电动促动器的侧视图。

图5是本实施方式的气泵装置的气缸的剖视图。

图6是与本实施方式的气泵装置连接的气压设备的立体图(图6(a)是吸附垫的立体图，图6(b)是气动卡盘的立体图)。

图7是表示本发明的实施方式的气泵系统的控制系统的构成的图。

图8是图7所示的控制系统的控制装置的功能框图。

图9是表示由图7所示的控制系统进行的促动器的控制的流程的图。

具体实施方式

以下，参照附图详细地说明本发明的使用电动促动器的气泵装置及气泵系统的实施方式。但是，本发明的使用电动促动器的气泵装置及气泵系统能够以各种方式具体化，并不限定于本说明书所记载的实施方式。本实施方式是为了通过使说明书的公开充分而使本领域技术人员能够充分理解发明的范围而提供的。