[发明专利]用于制造压电的层堆叠的方法以及压电的层堆叠

权利要求书

1.一种用于制造压电的层堆叠（10）的方法，所述方法具有如下步骤:

S1）提供层堆叠（10），所述层堆叠具有多个压电的陶瓷层（12）和多个能导电的内电极（14），其中沿着所述层堆叠（10）的纵轴（L），在两个所述陶瓷层（12）之间分别布置一个内电极（14），并且其中所述压电的陶瓷层（12）在其表面（16）上具有：第一区域（18），多晶组织结构（20）在所述第一区域内存在；和第二区域（22），在所述第二区域中存在仅仅以机械的方式附着在所述多晶组织结构（20）上的压电的陶瓷材料（24）；

S2）在不损坏所述多晶组织结构（20）的情况下去除所述仅仅以机械方式附着在所述多晶组织结构（20）上的所述压电的陶瓷材料（24）。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于如下步骤：

S2a) 提供通过加载压力所液化的气体(38)；

S2b）使所述气体（38）膨胀，使得微晶（44）形成；

S2c）将所述微晶（44）对准成定向的流（50）；

S2d）利用所述定向的流（50）来加载所述层堆叠（10）的表面（16）。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，作为液化的气体（38）使用CO₂和/或N₂和/或惰性气体。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述层堆叠（10）的所述表面（16）以与所述流（50）的来源（52）的1cm至10cm的间隔(d)经所述流（50）来移动。

5.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述层堆叠（10）的所述表面（16）以与所述流（50）的来源（52）的2cm至8cm的间隔(d)经所述流（50）来移动。

6.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述层堆叠（10）的所述表面（16）以与所述流（50）的来源（52）的3cm至6cm的间隔(d)经所述流（50）来移动。

7.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述层堆叠（10）的所述表面（16）以与所述流（50）的来源（52）的4cm的间隔(d)经所述流（50）来移动。

8.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述流（50）具有2bar至25bar的压力（p_s）。

9.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述流（50）具有5bar至20bar的压力（p_s）。

10.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述流（50）具有10bar至16bar的压力（p_s）。

11.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述流（50）具有14bar的压力（p_s）。

12.根据权利要求1至3之一所述的方法，其特征在于，在去除仅仅以机械方式附着在所述多晶组织结构（20）上的所述压电的陶瓷材料（24）之后，所述层堆叠（10）的所述表面（16）在步骤S3）中被去离子化。

13.根据权利要求1至3之一所述的方法，其特征在于，在去除仅仅以机械方式附着在所述多晶组织结构（20）上的所述压电的陶瓷材料（24）之后，所述层堆叠（10）的所述表面（16）在步骤S3）中通过以离子化的空气（30）喷吹来进行去离子化和/或通过在溶剂浴（32）中用超声波（34）进行的加载来进行去离子化。

14.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述层堆叠（10）的所述表面（16）在去离子化之后在步骤S4)中被钝化。