[发明专利]用于识别扫描路径的性质的探针数据分析

权利要求书

1.一种用于对由机床携带的扫描探针收集的探针数据进行分析的方法，所述探针数据是随着所述机床使得所述扫描探针相对于工件沿着扫描路径移动而收集的，其特征在于，所述方法包括：单独地根据所收集的探针数据的特性来识别由所述机床使用的所述扫描路径的性质的步骤。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述识别所述扫描路径的性质的步骤包括：识别多个不同的扫描路径类型中的扫描路径类型。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述识别所述扫描路径的性质的步骤包括：识别多个不同的扫描路径中的扫描路径。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所收集的探针数据的所述特性包括：所述探针数据的与所述工件的特征的测量相关联的固有特性。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述扫描探针包括具有可偏斜触针的接触式扫描探针，并且所述固有特性包括触针偏斜的方向和/或触针偏斜的幅度的变化。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所收集的探针数据的所述特性包括探针数据的变化，通过引入到所述扫描路径中的一个或多个变化提供所述探针数据的变化以使得所述扫描路径被识别。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，由所述机床使用的所述扫描路径包括：产生具有可识别特性的探针数据的至少一个信号段。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所收集的探针数据包括：在所述机床向所述扫描探针发出开始收集探针数据的指令与发出停止收集探针数据的指令之间收集的离散的数据点集合。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所收集的探针数据的所述特性包括：所述数据点集合内的数据点的数量。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，探针数据是随着所述机床使得所述扫描探针相对于所述工件沿着多个扫描路径移动而收集的，其中，所述多个扫描路径中的每个扫描路径的性质是根据从每个扫描路径收集的所述探针数据的特性而识别的。

11.根据权利要求1所述的方法，包括：对所述探针数据进行分析以提取测量信息的另外的步骤，其中，对所述探针数据执行的分析的类型是根据所识别的所述扫描路径的性质而确定的。

12.根据权利要求1所述的方法，其中，所述根据所收集的探针数据的特性来识别由所述机床使用的所述扫描路径的性质的步骤是在所述机床外部的处理器上执行的。

13.根据权利要求1所述的方法，其中，所述扫描探针包括具有可偏斜触针的接触式扫描探针、以及用于测量所述触针的偏斜量的至少一个传感器。

14.一种计算机可读介质，其包括在由机床设备执行时致使所述机床设备执行根据前述权利要求中任一项所述的方法的指令。

15.一种用于对由机床携带的扫描探针收集的探针数据进行分析的装置，所述探针数据是随着所述机床使得所述扫描探针相对于工件沿着扫描路径移动而收集的，其特征在于，所述装置包括：处理器，其单独地根据所收集的探针数据的特性，来识别由所述机床使用的所述扫描路径的性质。

16.一种用于对由机床携带的扫描探针收集的探针数据进行分析的方法，所述探针数据是随着所述机床使得所述扫描探针相对于工件沿着扫描路径移动而收集的，所述方法包括：单独地使用所收集的探针数据的特性来识别由所述机床使用的所述扫描路径的性质的步骤。