[发明专利]臭氧生成装置

权利要求书

1.一种臭氧生成装置，具备：

电介质部，具有放电面；和

第1电极及第2电极，在所述电介质部的内部相互排列地延伸，并且分别与所述放电面对置，

所述第1电极具备：在从所述放电面观察时电极的边缘在该第1电极延伸的方向上延伸的直线部、和电极的边缘从所述直线部开始弯曲地延伸的曲部，

在所述第1电极与所述放电面之间，所述曲部的近旁的所述第1电极的每单位面积产生的静电电容小于所述直线部的近旁的所述第1电极的每单位面积产生的静电电容。

2.根据权利要求1所述的臭氧生成装置，其中，

所述电介质部具备从所述放电面观察时覆盖所述曲部的相对介电常数变更部，

所述相对介电常数变更部具有比所述电介质部低的相对介电常数。

3.根据权利要求2所述的臭氧生成装置，其中，

所述相对介电常数变更部在从所述放电面观察时在与所述直线部交叉的方向上延伸并与所述第2电极重叠。

4.根据权利要求1所述的臭氧生成装置，其中，

所述直线部的近旁的所述第1电极与所述放电面的距离短于所述曲部的近旁的所述第1电极与所述放电面的距离。

5.根据权利要求4所述的臭氧生成装置，其中，

所述电介质部具备从所述放电面观察时覆盖所述曲部的突出部，

所述突出部在所述放电面，与周围相比更突出。

6.根据权利要求5所述的臭氧生成装置，其中，

所述突出部在从所述放电面观察时在与所述直线部交叉的方向上延伸并与所述第2电极重叠。

7.根据权利要求4～6中任一项所述的臭氧生成装置，其中，

所述第1电极在所述曲部的近旁向与所述放电面分离开的方向弯曲。

8.根据权利要求1～6中任一项所述的臭氧生成装置，其中，

所述第2电极具备：从所述放电面观察时电极的边缘在该第2电极延伸的方向上延伸的直线部、和电极的边缘从所述直线部开始弯曲地延伸的曲部，

在所述第2电极与所述放电面之间，所述曲部的近旁的所述第2电极的每单位面积产生的静电电容小于所述直线部的近旁的所述第2电极的每单位面积产生的静电电容。

9.根据权利要求1～6中任一项所述的臭氧生成装置，其中，

所述臭氧生成装置具备多对所述第1电极及所述第2电极，从所述放电面观察时多对所述第1电极及所述第2电极排列在相对于所述第1电极与所述第2电极延伸的方向正交的方向上，

还具备驱动电压源，输出具有重复的图案与循环的相位差的N相驱动电压，其中N≥3，

所述多对第1电极及第2电极根据这些电极的排列顺序而从所述驱动电压源被输入第n相的驱动电压，其中1≤n≤N。

10.一种臭氧生成装置，具备：

电介质部，具有放电面；和

第1电极及第2电极，在所述电介质部的内部相互排列地延伸、并且分别与所述放电面对置，

所述第1电极具备：从所述放电面观察时电极的边缘在该第1电极延伸的方向上延伸的直线部、和电极的边缘自所述直线部开始弯曲地延伸的曲部，

所述电介质部具备从所述放电面观察时覆盖所述曲部的突出部，

所述突出部从所述放电面向厚度方向突出。

11.根据权利要求10所述的臭氧生成装置，其中，

所述突出部从所述放电面观察时在与所述直线部交叉的方向上延伸。