[发明专利]用于光学滤光片的自动缺陷检测与映射

权利要求书

1.一种用于表征被测光学滤光片的点瑕疵的测试装置，所述点瑕疵包括小孔和点缺陷，所述测试装置包括：

通带照明源，其被配置为利用通带照明来照射所述被测光学滤光片，所述通带照明的光谱范围至少与所述被测光学滤光片的通带重叠；

阻带照明源，其被配置为利用阻带照明来照射所述被测光学滤光片，所述阻带照明的光谱范围完全位于所述被测光学滤光片的通带之外；以及

二维光电探测器阵列，其被布置为检测经过所述被测光学滤光片之后的通带照明并且检测经过所述被测光学滤光片之后的阻带照明。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其中，所述测试装置被配置为不同时利用通带照明和阻带照明二者来照射所述被测光学滤光片。

3.根据权利要求1所述的测试装置，进一步包括：

电子控制器，其被配置为与所述通带照明源、所述阻带照明源和所述二维光电探测器阵列协同工作以：

执行通带测试，所述通带测试包括：在利用所述通带照明照射所述被测光学滤光片而不利用所述阻带照明照射所述被测光学滤光片时，使用所述二维光电探测器阵列获取所述被测光学滤光片的通带图；并且

执行阻带测试，所述阻带测试包括：在利用所述阻带照明照射所述被测光学滤光片而不利用所述通带照明照射所述被测光学滤光片时，使用所述二维光电探测器阵列获取所述被测光学滤光片的阻带图。

4.根据权利要求3所述的测试装置，其中：

所述电子控制器被配置为执行通带测试，所述通带测试进一步包括：将点缺陷识别为在所述被测光学滤光片的所述通带图中强度低于点缺陷阈值强度的位置；并且

其中，所述电子控制器被配置为执行阻带测试，所述阻带测试进一步包括：将小孔识别为在所述被测光学滤光片的所述阻带图中强度高于小孔阈值强度的位置。

5.根据权利要求4所述的测试装置，进一步包括：

显示部件；

其中，所述电子控制器被配置为执行通带测试，所述通带测试进一步包括：将所述通带图以及识别出的点缺陷图之一显示在所述显示部件上；以及

其中，所述电子控制器被配置为执行阻带测试，所述阻带测试进一步包括：将所述阻带图以及识别出的小孔图之一显示在所述显示部件上。

6.根据权利要求4至5中任一项所述的测试装置，其中：

所述电子控制器被配置为执行通带测试，所述通带测试进一步包括：计算针对识别出的点缺陷的统计数据，并将所计算的点缺陷统计数据显示在所述电子控制器的显示部件上；并且

所述电子控制器被配置为执行阻带测试，所述阻带测试进一步包括：计算针对识别出的小孔的统计数据，并将所计算的小孔统计数据显示在所述电子控制器的显示部件上。

7.根据权利要求4或5所述的测试装置，其中：

对点缺陷的识别包括：聚集所述通带图中的强度低于点缺陷阈值强度的连续像素以将点缺陷识别为连续像素的聚合；并且

对小孔的识别包括：聚集所述阻带图中的强度高于小孔阈值强度的连续像素以将小孔识别为连续像素的聚合。

8.根据权利要求3所述的测试装置，其中：

所述通带照明源被配置为仅输出其光谱范围至少与所述被测光学滤光片的通带重叠的通带照明；

所述阻带照明源被配置为仅输出其光谱范围全部位于所述被测光学滤光片的通带之外的阻带照明；

所述测试装置进一步包括光学复用部件或子系统，所述光学复用部件或子系统被配置为耦接用于照射所述被测光学滤光片的通带照明并且耦接用于照射所述被测光学滤光片的阻带照明；

所述电子控制器被配置为执行通带测试，所述通带测试包括：操作所述通带照明源输出通带照明，并且操作所述阻带照明源不输出阻带照明；以及

所述电子控制器被配置为执行阻带测试，所述阻带测试包括：操作所述阻带照明源输出阻带照明，并且操作所述通带照明源不输出通带照明。