[发明专利]传感器组合件和确定光刻系统的多个反射镜各自的位置的方法

权利要求书

1.传感器布置，所述传感器布置确定光刻设备(100)的多个反射镜(M1-M6)各自的位置，具有：

多个位置传感器设备(140)，其中各个所述位置传感器设备(140)包括测量单元(201)、光源(203)、检测单元(204)和信号处理单元(207)，其中所述测量单元在通过光束曝光的情况下，提供反射镜(M1-M6)的位置的光学位置信号，所述光源以所述光束曝光所述测量单元(201)，所述检测单元具有通过检测所提供的光学位置信号来输出模拟电位置信号的多个光检测器(205)，且所述信号处理单元具有将所述模拟电位置信号转换为数字电位置信号(DP)的至少一个A/D转换器(208)，其中在布置在真空外壳(137)中的单个集成部件(200)中至少提供所述光源(203)和所述信号处理单元(207)；以及评估设备(304)，所述评估设备通过所述数字电位置信号(DP)确定所述反射镜(M1-M6)的位置，其中所述集成部件设置有保护防止放气的层。

2.如权利要求1所述的传感器布置，其中在所述集成部件(200)中提供所述光源(203)、所述信号处理单元(207)和所述检测单元(204)的光检测器(205)。

3.如权利要求1或2所述的传感器布置，其中所述检测单元(204)还具有光学单元(206)，所述光学单元配置为将由所述测量单元(201)提供的光学位置信号成像至所述光检测器(205)上。

4.如权利要求1或2所述的传感器布置，具有：

在所述真空外壳(137)中布置的多个位置传感器设备(140)，即N3个位置传感器设备，其中各位置传感器设备(140)分配给所述光刻设备(100)的多个可致动反射镜(M2-M6)，即N2个可致动反射镜中的一个；以及

在真空外壳(137)中布置的数据收集设备(404)，所述数据收集设备通过数据链路连接至布置在所述真空外壳(137)外面的所述评估设备(304)，并且所述数据收集设备配置为将所述N3个位置传感器设备(140)提供的N3个数字电位置信号集合或组合来形成数字收集信号(DS)，并且经由所述数据链路将所述数字收集信号(DS)传输至所述评估设备(304)。

5.如权利要求4所述的传感器布置，其中所述数据收集设备(404)和所述评估设备(304)经由单个数据链路连接。

6.如权利要求4所述的传感器布置，其中在所述数据收集设备(404)和所述评估设备(304)之间的所述数据链路实施为单向的数据链路。

7.如权利要求4的所述传感器布置，其中所述数据链路具有真空穿通连接设备(302)、第一数据线路(401)和第二数据线路(402)，所述真空穿通连接设备(302)用于穿过所述真空外壳(137)的适合真空的穿通连接；所述第一数据线路(401)耦接在所述数据收集设备(404)和所述真空穿通连接设备(302)之间；且该第二数据线路(402)耦接在所述真空穿通连接设备(302)和所述评估设备(304)之间。

8.如权利要求7所述的传感器布置，其中通过各自的线路(403)，所述数据收集设备(404)连接至所述N3个位置传感器设备(140)中的每一个。

9.如权利要求8所述的传感器布置，其中连接器支架(301)与所述数据收集设备(404)和所述第一数据线路(401)电耦接。

10.如权利要求4所述的传感器布置，具有：

在所述真空外壳(137)中布置的多个位置传感器设备(140)，即N3个位置传感器设备，其中各位置传感器设备(140)分配给所述光刻设备(100)的多个可致动反射镜(M1-M6)，即N2个可致动反射镜中的一个；以及

总线系统(501)，其至少部分地布置在所述真空外壳(137)中，所述总线系统与在所述真空外壳(137)外面布置的所述评估设备(304)连接，且配置为将通过所述N3个位置传感器设备(140)提供的所述N3个数字电位置信号(DP)传输至所述评估设备(304)。