[发明专利]具有MEMS声音转换器的声音转换器组件

权利要求书

1.一种声音转换器组件(1)，其具有用于产生或者获取在可听见的波长频谱内的声波的第一MEMS声音转换器(21)，该第一MEMS声音转换器包括第一空穴(41)，并且具有

与该第一MEMS声音转换器导电地连接的ASIC(11)，

其特征在于，

该ASIC(11)被埋入到第一基层(10)内，

该第一MEMS声音转换器(21)布置在第二基层(20)内或者第二基层(20)上，

第一空穴(41)至少部分地构造在第一基层(10)和/或第二基层(20)中；

该第一基层(10)和该第二基层(20)相互连接，使得该ASIC(11)和该第一MEMS声音转换器(21)相互电耦合；

在第三基层(30)上布置第二MEMS声音转换器(31)，

所述第一基层(10)和所述第三基层(30)相互导电地连接，

所述第一基层(10)布置在所述第二基层(20)和所述第三基层(30)之间，并且

所述第二MEMS声音转换器(31)的第二空穴(42)至少部分地构造在所述第一基层(10)和/或第三基层(30)内，并且

两个空穴(41、42)通过所述第一基层(10)的间壁(17)而相互分开。

2.根据权利要求1所述的声音转换器组件，其特征在于，

相邻的两个基层相互焊封或者借助能导电的粘合剂而粘贴。

3.根据权利要求1所述的声音转换器组件，其特征在于，

所述间壁(17)具有至少一个从所述第一空穴(41)延伸到所述第二空穴(42)的连接孔(90)。

4.根据权利要求1所述的声音转换器组件，其特征在于，所述间壁(17)具有至少一个加固元件(14)。

5.根据权利要求1所述的声音转换器组件，其特征在于，在第二基层(20)内构造平衡孔(26)和/或压力平衡气道(70)，其使第一空穴(41)与周围环境连通。

6.根据权利要求1所述的声音转换器组件，其特征在于，至少一个空穴被至少部分地用多孔材料(5)填充。

7.根据权利要求1所述的声音转换器组件，其特征在于，

所述声音转换器组件(1)具有壳体件(50)，该壳体件具有声学进口/出口孔(51)，该声学进口/出口孔(51)布置在所述声音转换器组件(1)的外面(55)上，和/或

该壳体件与第一基层(10)、第二基层(20)和第三基层(30)连接，使得在所述壳体件(50)和至少一个基层之间至少部分地构造第一声音气道(61)和第二声音气道(67)。

8.根据权利要求7所述的声音转换器组件，其特征在于，

所述第一声音气道(61)具有构造在所述壳体件(50)和第二基层(20)之间的第一部分(62)或完全地构造在所述壳体件(50)内的第二部分(63)；

所述第二声音气道(67)具有构造在所述壳体件(50)和第三基层(30)之间的第一部分(68)或完全地构造在所述壳体件(50)内的第二部分(69)。

9.根据权利要求7所述的声音转换器组件，其特征在于，

所述声音转换器组件(1)具有声音引导元件(64)，该声音引导元件(64)具有至少一个凹形的声音引导棱边(65)，该声音引导棱边布置在所述壳体件(50)与第一基层(10)和第二基层(20)之间，在所述第一声音气道(61)的第一部分(62)和第二部分(63)之间的过渡区域内。

10.根据权利要求9所述的声音转换器组件，其特征在于，

所述声音引导元件(64)和/或所述声音引导棱边(65)构造为，使得由所述MEMS声音转换器(21、31)产生的声音能够在所述声音气道的第二部分的方向上被集中到所述声学进口/出口孔(51)，

和/或

即将被所述MEMS声音转换器(21、31)获取的声音在所述声音气道的第一部分的方向上被集中到所述MEMS声音转换器。