[发明专利]压力式流量控制装置及其异常检测方法

权利要求书

1.一种压力式流量控制装置，所述压力式流量控制装置分别设置于与处理腔室连接的多个流路，其特征在于，具备：

收缩部，所述收缩部介于气体流动的流路上；

上游侧压力传感器，所述上游侧压力传感器用于检测出所述收缩部的上游侧的气体压力；

下游侧压力传感器，所述下游侧压力传感器用于检测出所述收缩部的下游侧的气体压力；

流量控制阀，所述流量控制阀设置在所述上游侧压力传感器的上游侧流路上；以及

运算控制回路，所述运算控制回路通过根据所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器的各自的检测值控制所述流量控制阀，将气体的流量控制为设定流量，

在下述状态下，设置在第一流路的压力式流量控制装置的所述运算控制回路计算所述上游侧压力传感器的检测值与所述下游侧压力传感器的检测值之差，同时根据计算出的所述差输出压力传感器异常判定用信号，所述状态为：包含于所述多个流路的所述第一流路中处理结束，并且其他第二流路中进行向处理腔室的气体供给处理，在所述第二流路中流动气体，另一方面，所述第一流路中所述流量控制阀和设置在所述下游侧压力传感器的下游侧流路的开关阀关闭而不流动气体。

2.根据权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，

所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器具有相同的额定压力，

所述运算控制回路将所述上游侧压力传感器的检测值与所述下游侧压力传感器的检测值之差相对于所述额定压力的比例，作为所述压力传感器异常判定用信号而予以输出。

3.根据权利要求2所述的压力式流量控制装置，其特征在于，

所述运算控制回路将所述压力传感器异常判定用信号作为流量输出值而予以输出。

4.根据权利要求1所述的压力式流量控制装置，其特征在于，

还具有利用所述压力传感器异常判定用信号判定所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器的异常的异常判定单元。

5.一种压力式流量控制装置的异常检测方法，所述压力式流量控制装分别设置于与处理腔室连接的多个流路，其特征在于，

所述压力式流量控制装置具备：

收缩部，所述收缩部介于气体流动的流路上；

上游侧压力传感器，所述上游侧压力传感器用于检测出所述收缩部的上游侧的气体压力；

下游侧压力传感器，所述下游侧压力传感器用于检测出所述收缩部的下游侧的气体压力；

流量控制阀，所述流量控制阀设置在所述上游侧压力传感器的上游侧流路上；以及

运算控制回路，所述运算控制回路通过根据所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器的各自的检测值控制所述流量控制阀，将气体的流量控制为设定流量，

所述异常检测方法包含：

在如下状态下：包含于所述多个流路的第一流路中处理结束，并且其他第二流路中进行向处理腔室的气体供给处理，在所述第二流路中流动气体，另一方面，所述第一流路中设定流量被设定为零而所述流量控制阀和设置在所述下游侧压力传感器的下游侧流路的开关阀关闭而不流动气体，

在所述第一流路中，通过所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器，检测出所述流路内的压力的步骤；

计算所述上游侧压力传感器的检测值与所述下游侧压力传感器的检测值之差的步骤；以及

根据通过计算所求出的所述差输出压力传感器异常判定用信号的步骤。

6.根据权利要求5所述的压力式流量控制装置的异常检测方法，其特征在于，

还包含将所述上游侧压力传感器的检测值与所述下游侧压力传感器的检测值之差相对于所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器的相同的额定压力的比例，作为所述压力传感器异常判定用信号而予以输出的步骤。

7.根据权利要求6所述的压力式流量控制装置的异常检测方法，其特征在于，

将所述压力传感器异常判定用信号作为流量输出值而予以输出。

8.根据权利要求5所述的压力式流量控制装置的异常检测方法，其特征在于，

还包含通过将所述压力传感器异常判定用信号与事先设定的临界值进行比较，判定在所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器的一方或双方上存在异常的步骤。