[发明专利]由有机铂化合物构成的化学蒸镀用原料及使用了该化学蒸镀用原料的化学蒸镀法

权利要求书

1.一种化学蒸镀用原料，其用于通过化学蒸镀法来制造铂薄膜或铂化合物薄膜，

所述化学蒸镀用原料由下式所示的在2价铂上配位有烯基胺及烷基阴离子的有机铂化合物构成，

[化1]

式中，n为1以上5以下；R₁至R₅分别为氢原子、烷基、烯基、炔基、氨基、亚氨基、氰基、异氰基中的任一种，并且它们的碳原子数均为4以下；R₆及R₇分别为碳原子数为1以上3以下的烷基。

2.根据权利要求1所述的化学蒸镀用原料，其中n为2或3，并且所述化学蒸镀用原料由下式所示的任意一种有机铂化合物构成，

[化2]

式中，R₁至R₅分别为氢原子、烷基、烯基、炔基、氨基、亚氨基、氰基、异氰基中的任一种，并且它们的碳原子数均为4以下；R₆及R₇分别为碳原子数为1以上3以下的烷基。

3.根据权利要求1或2所述的化学蒸镀用原料，其中R₁至R₅分别为氢原子、甲基、乙基、丙基中的任一种。

4.根据权利要求1或2所述的化学蒸镀用原料，其中R₆及R₇分别为甲基、乙基或正丙基中的任一种。

5.根据权利要求3所述的化学蒸镀用原料，其中R₆及R₇分别为甲基、乙基或正丙基中的任一种。

6.一种化学蒸镀法，其为铂薄膜或铂化合物薄膜的化学蒸镀法，在所述化学蒸镀法中，将由有机铂化合物构成的原料气化后作为原料气体，一边将所述原料气体导入到基板表面，一边进行加热，其中

作为所述原料，使用权利要求1至5中任一项所述的化学蒸镀用原料。