[发明专利]泄漏检测器和检测泄漏的方法

权利要求书

1.泄漏检测器(1)，用于通过检测示踪气体来检测被测物体(A)的泄漏处，该泄漏检测器(1)包括：

-进气口(2)，

-泵设备(4)，

-将进气口(2)连接到泵设备(4)的泵管线(3)，

-示踪气体检测设备(6)，该示踪气体检测设备作为泵设备(4)的旁路安装到泵管线(3)，该示踪气体检测设备(6)包括：

--探针(12)，该探针构造成使气体分子离子化以及在真空下测量离子化的气体分子的流，以及

--布置在该探针(12)的上游的分离膜(8)，

-其特征在于，该分离膜(8)是单原子石墨烯层(9)，该单原子石墨烯层通过化学蒸汽沉积法直接沉积在示踪气体检测设备(6)的可透气基材(11)上，使得所述单原子石墨烯层被所述可透气基材均匀而不变形地保持在其整个表面上，所沉积的单原子石墨烯层(9)中形成有选择孔(10)，该选择孔的最大尺寸(D)小于5埃，使得只有具有比选择孔(10)小的尺寸的气体分子能穿过分离膜(8)到达探针(12)。

2.根据权利要求1所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，该选择孔(10)的最大尺寸(D)小于3埃。

3.根据前述权利要求之一所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，该选择孔(10)的密度介于4×10¹⁵和4×10¹⁸cm^-2之间。

4.根据权利要求1或2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，该单原子石墨烯层(9)具有介于0.5和2cm²之间的表面积。

5.根据权利要求1或2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，该可透气基材(11)包括具有通孔的材料，该通孔的截面的最小尺寸大于30埃。

6.根据权利要求1或2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，该可透气基材(11)的厚度(e)介于1和100μm之间。

7.根据权利要求1或2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，该探针(12)包括电离真空计或离子泵。

8.根据权利要求1或2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，它包括嗅吸探头(15)，该嗅吸探头连接到进气口(2)。

9.检测泄漏的方法，用于通过借助于根据前述权利要求之一所述的泄漏检测器(1)检测示踪气体来检测被测物体(A)的泄漏处，在该方法中：

-使从进气口(2)朝向泵设备(4)移动的、希望在被测物体(A)发生泄漏时检测它是否包含示踪气体的气流(F)与沉积在可透气基材(11)上的单原子石墨烯层(9)的分离膜(8)连通；

-该单原子石墨烯层(9)穿通有选择孔(10)，以便仅允许尺寸小于单原子石墨烯层(9)的选择孔(10)的最大尺寸(D)的气体分子通过，并阻止其它气体通过。

10.根据权利要求9所述的检测泄漏的方法，其特征在于，随后使已经穿过分离膜(8)的气体离子化，以生成表示被测物体(A)的泄漏速率的流。