[发明专利]泵和流体控制装置

权利要求书

1.一种泵，其中，具备：

振动板，其具备振动体、框部以及将所述振动体和所述框部连起来的多个连结部，

压电元件，其粘贴于所述振动体的底面，使所述振动体在厚度方向振动；

侧壁部，其支承所述框部；以及

顶板部，其受所述侧壁部支承，并且与所述振动体和所述侧壁部一起构成空间，

所述多个连结部中在各个连结部与连结部之间具备流路孔，

所述顶板部具有：

顶面部，其与所述振动体在所述厚度方向空开间隔地对置；

接合部，其从所述顶面部向与所述厚度方向正交的外侧延伸，并且与所述侧壁部接合；

突出部，其从所述接合部向所述外侧延伸，并且比所述侧壁部突出；以及

固定部，其从所述突出部向所述外侧延伸，并且固定于外部构造体，

所述突出部相对于所述空间的中央比所述流路孔位于外侧，

所述突出部具有比所述接合部薄的第一薄壁部。

2.根据权利要求1所述的泵，其中，

所述第一薄壁部设置为环状。

3.根据权利要求1所述的泵，其中，

所述突出部具有比所述接合部薄的第二薄壁部，

从所述顶面部的中心轴至所述第一薄壁部的距离和从所述顶面部的中心轴至所述第二薄壁部的距离不同。

4.根据权利要求1所述的泵，其中，

所述突出部不具有开口。

5.根据权利要求2所述的泵，其中，

所述突出部不具有开口。

6.根据权利要求3所述的泵，其中，

所述突出部不具有开口。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的泵，其中，

在将所述突出部的在所述外侧的尺寸设为d并将所述突出部的在所述厚度方向的尺寸设为t时，满足以下条件式，即，

[式1]

d≥0.05·t^(2/3)。

8.根据权利要求7所述的泵，其中，

满足以下条件式，即，

[式2]

d≥0.06·t^(2/3)。

9.根据权利要求8所述的泵，其中，

满足以下条件式，即，

[式3]

0.06·t^(2/3)≤d≤0.066·t^(2/3)。

10.一种流体控制装置，具备：

权利要求1～9中的任一项所述的泵；以及

所述外部构造体。

11.根据权利要求10所述的流体控制装置，其中，

所述顶面部具有与所述空间连通的多个流路孔，

所述外部构造体是具有开闭所述多个流路孔的阀的阀壳体。