[发明专利]用于电子束系统中像差校正的方法及系统

权利要求书

1.一种扫描式电子显微镜设备，其包括：

电子束源，其经配置以产生初级电子束；

样品载台，其经配置以固定样品；

一组电子光学元件，其经配置以引导所述初级电子束的至少部分到所述样品的部分上，其中所述组电子光学元件包含至少上偏转器组合件及下偏转器组合件，其中所述上偏转器组合件经配置以补偿所述初级电子束中由所述下偏转器组合件引起的横向色像差，其中所述上偏转器组合件经配置以旋转与所述上偏转器组合件的非磁性静电元件相关联的电场或磁场中的至少一者来引起所述电场或所述磁场中的至少一者遵循所述下偏转器组合件的主要场的偏转模式；及

经定位的检测器组合件，其经配置以检测发源于所述样品的表面的电子。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述上偏转器组合件经配置以控制所述初级电子束在所述样品的所述表面上的光点大小。

3.根据权利要求2所述的设备，其中所述上偏转器组合件经配置以通过使所述初级电子束与所述扫描式电子显微镜设备的光学轴产生偏移来控制所述初级电子束在所述样品的所述表面上的光点大小，其中所述偏移是由偏移角度界定。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述上偏转器组合件经配置以使所述初级电子束横跨所述样品的选定区域扫描。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述上偏转器组合件经配置以将发源于所述样品的所述表面的所述电子引导到所述检测器组合件的选定部分上。

6.根据权利要求5所述的设备，其中所述上偏转器组合件经配置以将与发源于所述样品的所述表面的所述电子相关联的电子云定位到所述检测器组合件的选定检测器通道上。

7.根据权利要求1所述的设备，其中所述下偏转器组合件引导发源于所述样品的电子到所述检测器组合件。

8.根据权利要求7所述的设备，其中所述下偏转器组合件分离发源于所述样品的电子与所述初级电子束，且引导发源于所述样品的所述电子到所述检测器组合件。

9.根据权利要求1所述的设备，其中所述上偏转器组合件经配置以使所述初级电子束相对于所述扫描式电子显微镜设备的光学轴倾斜。

10.根据权利要求1所述的设备，其中所述上偏转器组合件经配置以校正所述初级电子束内的像散。

11.根据权利要求1所述的设备，其中所述上偏转器组合件使所述初级电子束远心地着陆在所述样品上。

12.根据权利要求1所述的设备，其中所述上偏转器组合件使所述初级电子束非远心地着陆在所述样品上。

13.根据权利要求1所述的设备，其中所述上偏转器组合件或所述下偏转器组合件中的至少一者包括：

文氏滤波器。

14.根据权利要求13所述的设备，其中所述上偏转器组合件或所述下偏转器组合件中的至少一者包括：

八极偏转器组合件、六极偏转器组合件或四极偏转器组合件中的至少一者。

15.根据权利要求1所述的设备，其中所述上偏转器组合件或所述下偏转器组合件中的至少一者包括：

一组非磁性静电偏转器元件；及

一组电磁性偏转器元件，其中所述组电磁性偏转器元件沿着所述组非磁性静电偏转器元件的一或多个部分布置。

16.根据权利要求15所述的设备，其中所述组电磁性偏转器元件中的第一电磁性偏转器元件跨越所述组非磁性静电偏转器元件的第一部分，所述第一部分对应于围绕所述组非磁性静电偏转器元件的中心的第一角度。