[发明专利]水晶振子及其制造方法

说明书

本发明所涉及的水晶振子(1)具备包括AT切割的水晶基板(10)和第一二激励电极及第二激励电极(20、30)的水晶振动元件(100)、基底部件(300)以及盖部件(200)，水晶基板(10)包括振动部(40)和厚度比振动部40薄的周边部(50)，振动部(40)具有设置于第一方向上的第一边侧的锥形侧面(46)，锥形侧面(46)倾斜成以锐角与周边部(50)接触而形成，水晶振动元件(100)经由与第一激励电极(20)电连接的第一导电保持部件(340)和与第二激励电极(30)电连接的第二导电保持部件(342)搭载于基底部件(300)，第一导电保持部件及第二导电保持部件(340、342)在水晶基板(10)的第一边侧保持与锥形侧面(46)邻接的周边部(50)的区域。

技术领域

本发明涉及水晶振子及其制造方法。

背景技术

作为应用于振荡装置、带通滤波器等的压电振子，正在广泛应用以厚度剪切振动(thickness shear vibration)为主振动的水晶振子。另外，作为水晶振子的一种形式，已知一种为了封住厚度剪切振动的振动能量，而将水晶振动元件的振动部的周边部蚀刻形成为比振动部薄的台面型结构(mesa-structure)(例如参照专利文献1)。

在这样的台面型结构等的水晶振子中，抑制不必要的振动的产生及其传播很重要。特别是，由于存在振动能量经由保持水晶振动元件的导电保持部件传播的情况、振动能量被导电保持部件反射而在水晶振动元件内产生不必要的振动的情况，所以要求抑制向该导电保持部件的振动泄漏。

专利文献1：日本特开2008－236439号公报

发明内容

本发明是鉴于这样的情况而完成的，其目的在于抑制向保持水晶振动元件的导电保持部件传播不必要的振动，实现振动特性的提高。

本发明所涉及的水晶振子具备：水晶振动元件，包括AT切割的水晶基板和设置于水晶基板的第一激励电极及第二激励电极，水晶基板通过在将围绕水晶的结晶轴亦即X轴、Y轴、Z轴中的X轴从Z轴旋转了规定的角度的轴作为Z′轴的情况下，以与由X轴和Z′轴确定的面平行的面为主面而切取而成；基底部件，搭载有水晶振动元件；以及盖部件，与基底部件连接成配置密封水晶振动元件的内部空间。水晶基板包括：振动部，被第一激励电极及第二激励电极激励；以及周边部，设置于振动部的外侧且厚度比振动部薄。在振动部的主面分别设置有第一激励电极及第二激励电极。水晶基板具有第一方向及第二方向，第一方向及第二方向中的一个是长边方向而另一个是短边方向。振动部具有设置于第一方向上的第一边侧的锥形侧面。锥形侧面倾斜成以锐角与周边部接触。水晶振动元件经由与第一激励电极电连接的第一导电保持部件和与第二激励电极电连接的第二导电保持部件搭载于基底部件。第一导电保持部件及第二导电保持部件在水晶基板的第一边侧，保持与锥形侧面邻接的周边部的区域。

根据上述结构，与第一激励电极电连接的导电保持部件和与第二激励电极电连接的导电保持部件在水晶基板的第一边侧保持与锥形侧面邻接的周边部的区域。由此，由于设置于接近导电保持部件的位置的锥形侧面倾斜成以锐角与周边部接触，所以能够使不必要的振动在锥形侧面的锐角侧分散。因此，能够抑制不必要的振动传播到导电保持部件。因此，能够抑制共振特性恶化等弊端，并实现振动频率的稳定化等振动特性的提高。

在上述水晶振子中，也可以为第一导电保持部件经由第一延伸电极与第一导电保持部件电连接，第二导电保持部件经由第二延伸电极与第二导电保持部件电连接，第一延伸电极及第二延伸电极的至少一个通过设置于振动部且倾斜成以钝角与周边部接触的其他锥形侧面来设置。

在上述水晶振子中，也可以为水晶基板的第一方向是长边方向且平行于Z′轴的方向，水晶基板的第二方向是短边方向且平行于X轴的方向，锥形侧面是设置于长边方向上的第一短边侧的短边侧锥形侧面，第一导电保持部件及第二导电保持部件在水晶基板的第一短边侧保持与短边侧锥形侧面邻接的周边部的区域。