[发明专利]曝光装置、平面显示器的制造方法、元件制造方法、及曝光方法

权利要求书

1.一种曝光装置，是透过投影光学系对物体照射照明光，相对该物体驱动该投影光学系以进行扫描曝光，其特征在于其具备：

标记检测部，是不透过该投影光学系的检测形成在该物体的标记及形成在光罩的标记；

第1驱动系，是驱动该标记检测部；

第2驱动系，是驱动该投影光学系；以及

控制装置，控制该第1及第2驱动系以避免该投影光学系与该标记检测部彼此接触；

该物体至少具有位置相异的第1及第2区划区域；

该标记检测部，具有在相对该物体驱动该投影光学系的扫描方向上，设在该投影光学系的一侧的第1检测装置与设在该投影光学系的另一侧的第2检测装置；

该控制装置，在对该第1区划区域的该扫描曝光中，一边依据以该第1检测装置检测的形成在该物体的标记的检测结果将该投影光学系驱动于该一侧、一边控制该第1及第2驱动系以将该第2检测装置以不接触该投影光学系的方式驱动往该第2区划区域的该一侧。

2.一种曝光装置，是透过投影光学系对物体照射照明光，相对该物体驱动该投影光学系以进行扫描曝光，其特征在于其具备：

标记检测部，是不透过该投影光学系的检测形成在该物体的标记及形成在光罩的标记；

第1驱动系，是驱动该标记检测部；

第2驱动系，是驱动该投影光学系；以及

控制装置，在该扫描曝光中，驱动该投影光学系与该标记检测部中至少一方时，控制该第1及第2驱动系中至少一方的驱动系，以使该投影光学系与该标记检测部的间隔相距既定距离以上；

该物体至少具有位置相异的第1及第2区划区域；

该标记检测部，具有在相对该物体驱动该投影光学系的扫描方向上，设在该投影光学系的一侧的第1检测装置与设在该投影光学系的另一侧的第2检测装置；

该控制装置，在对该第1区划区域的该扫描曝光中，一边依据以该第1检测装置检测的形成在该物体的标记的检测结果将该投影光学系驱动于该一侧、一边控制该第1及第2驱动系以将该第2检测装置以不接触该投影光学系的方式驱动往该第2区划区域的该一侧。

3.一种曝光装置，是透过投影光学系对物体照射照明光，相对该物体驱动该投影光学系以进行扫描曝光动作，其特征在于其具备：

标记检测部，是不透过该投影光学系的检测形成在该物体的标记及形成在光罩的标记；

第1驱动系，是驱动该标记检测部；

第2驱动系，是驱动该投影光学系；以及

控制装置，在该扫描曝光动作中的至少部分动作中，控制该第1及第2驱动系分别以相异的驱动速度驱动该投影光学系及该标记检测部；

该物体至少具有位置相异的第1及第2区划区域；

该标记检测部，具有在相对该物体驱动该投影光学系的扫描方向上，设在该投影光学系的一侧的第1检测装置与设在该投影光学系的另一侧的第2检测装置；

该控制装置，在对该第1区划区域的该扫描曝光中，一边依据以该第1检测装置检测的形成在该物体的标记的检测结果将该投影光学系驱动于该一侧、一边控制该第1及第2驱动系以将该第2检测装置以不接触该投影光学系的方式驱动往该第2区划区域的该一侧。

4.一种曝光装置，是透过投影光学系对物体照射照明光，相对该物体驱动该投影光学系以进行扫描曝光，其特征在于其具备：

标记检测部，是不透过该投影光学系的检测形成在该物体的标记及形成在光罩的标记；

第1驱动系，是驱动该标记检测部；

第2驱动系，是驱动该投影光学系；以及

控制装置，是控制该第1及第2驱动系使该投影光学系停止被驱动的停止位置、与该标记检测部停止被驱动的停止位置不重叠；

该物体至少具有位置相异的第1及第2区划区域；

该标记检测部，具有在相对该物体驱动该投影光学系的扫描方向上，设在该投影光学系的一侧的第1检测装置与设在该投影光学系的另一侧的第2检测装置；

该控制装置，在对该第1区划区域的该扫描曝光中，一边依据以该第1检测装置检测的形成在该物体的标记的检测结果将该投影光学系驱动于该一侧、一边控制该第1及第2驱动系以将该第2检测装置以不接触该投影光学系的方式驱动往该第2区划区域的该一侧。