[发明专利]谐振子以及谐振装置

说明书

本发明涉及谐振子以及谐振装置。在谐振子中，抑制谐振频率的偏移。具备：振动部，具有基部和多个振动臂，基部具有前端以及与该前端对置的后端，多个振动臂的固定端与基部的前端连接，并沿远离前端的方向延伸；保持部，被设置在振动部的周围的至少一部分；以及保持臂，被设置在振动部与保持部之间，该保持臂的一端与基部连接，另一端与保持部中的比基部的后端靠前端侧的区域连接。

技术领域

本发明涉及多个振动臂以面外的弯曲振动模式进行振动的谐振子以及谐振装置。

背景技术

以往，使用了MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)技术的谐振装置例如作为定时设备而被使用。该谐振装置被安装于组装到智能手机等电子设备内的印刷电路基板上。谐振装置具备下侧基板、与下侧基板之间形成腔的上侧基板、和在下侧基板以及上侧基板之间被配置于腔内的谐振子。

例如在专利文献1中公开了一种具备多个振动臂的谐振子。在该谐振子中，振动臂在其固定端与基部的前端连接，基部在与前端相反侧的后端与支承部连接。支承部例如与夹在下侧基板以及上侧基板之间的基台连接。在专利文献1的图1的例子中，通过将施加于振动臂的电场设定为相互相反方向，从而在内侧的振动臂与外侧的两个振动臂之间实现相互相反相位的振动。

专利文献1:日本专利第5071058号公报

专利文献2:日本特开昭56－085921号公报

在相反相位的振动时，如专利文献1的图1(c)所示，绕与Y轴平行地延伸的中心轴在各振动臂产生扭转力矩。通过该扭转力矩，在谐振子的基部中，以邻接的相反相位进行振动的振动臂的中心轴彼此之间绕与该中心轴平行地规定的旋转轴产生弯曲振动。该振动从基部通过支承部传递到基台。由于基台被保持在下侧基板以及上侧基板之间，所以通过基台衰减某种程度的振动。本发明人发现该振动的衰减在振动臂的振动的振幅大的情况下，使谐振波形变形，并使谐振频率偏移。由于谐振频率的偏移对谐振特性、相位噪声的影响大，所以要求改善。

发明内容

本发明是鉴于这种情况而完成的，其目的在于，在谐振子中抑制谐振频率的偏移(shift)。

本发明的一个方面所涉及的谐振子具备：振动部，具有基部和多个振动臂，基部具有前端以及与该前端对置的后端，多个振动臂的固定端与基部的前端连接，并沿远离前端的方向延伸；保持部，被设置在振动部的周围的至少一部分；以及保持臂，被设置在振动部与保持部之间，该保持臂的一端与基部连接，另一端与保持部中的比基部的后端靠前端侧的区域连接。

根据本发明，能够在谐振子中抑制谐振频率的偏移。

附图说明

图1是示意性地表示本发明的第一实施方式所涉及的谐振装置的外观的立体图。

图2是示意性地表示本发明的第一实施方式所涉及的谐振装置的结构的分解立体图。

图3是取下上侧基板后的本发明的第一实施方式所涉及的谐振子的俯视图。

图4是沿着图1的A－A′线的剖视图。

图5是沿着图3的B－B′线的剖视图。

图6是表示保持臂相对于基部的连接位置与DLD的关系的图表。

图7是表示本发明的第一实施方式所涉及的谐振子的振动的位移量的分布的图。

图8是与图3对应，取下上侧基板后的本发明的第二实施方式所涉及的谐振子的俯视图。

图9是与图3对应，取下上侧基板后的本发明的第三实施方式所涉及的谐振子的俯视图。

图10是与图3对应，取下上侧基板后的本发明的第四实施方式所涉及的谐振子的俯视图。