[发明专利]感光性树脂组合物

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有：

(A)碱溶性高分子；

(B)具有烯属不饱和键的化合物；和，

(C)光聚合引发剂，

所述组合物含有具有5个以上烯属不饱和键、且具有环氧烷链的(甲基)丙烯酸酯化合物作为所述(B)具有烯属不饱和键的化合物，

所述(A)碱溶性高分子的玻璃化转变温度Tg的重量平均值Tg_total为30℃以上且110℃以下，

用耐化学试剂性评价的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行在40℃的该化学试剂中浸渍5分钟的处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下，

所述化学试剂为将CupraPro S2 100mL、98％硫酸60mL和纯水840mL进行混合而制得。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，在所述基板表面上形成所述感光性树脂层，以将斯图费41级阶段式曝光尺作为掩模进行曝光、接着进行显影时的最高残膜级数成为15级的曝光量对该感光性树脂层进行曝光时，

在FT-IR测定中，将曝光前的波数810cm^-1处的峰高设为P，将进行所述曝光后的所述(B)具有烯属不饱和键的化合物中的烯属双键的反应率设为Q，将所述感光性树脂层的膜厚设为R时的P×Q/R的值为0.21以上。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(B)具有烯属不饱和键的化合物的重均分子量为760以上。

4.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(B)具有烯属不饱和键的化合物中的甲基丙烯酰基的浓度为0.20mol/100g以上。

5.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(B)具有烯属不饱和键的化合物中的环氧乙烷单元的浓度为0.80mol/100g以上。

6.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其包含六芳基双咪唑化合物作为所述(C)光聚合引发剂。

7.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)碱溶性高分子具有100～600的酸当量和5000～500000的重均分子量，且在其侧链具有芳香族基。

8.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其含有具有5个以上烯属不饱和键、且具有环氧乙烷链的(甲基)丙烯酸酯化合物作为所述(B)具有烯属不饱和键的化合物。

9.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其含有具有环氧乙烷链和二季戊四醇骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物作为所述(B)具有烯属不饱和键的化合物。

10.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其还含有下述通式(II)所示的化合物作为所述(B)具有烯属不饱和键的化合物，

式(II)中，R₁及R₂分别独立地表示氢原子或甲基，A为C₂H₄，B为C₃H₆，n₁及n₃分别独立地为1～39的整数，且n₁+n₃为2～40的整数，n₂及n₄分别独立地为0～29的整数，且n₂+n₄为0～30的整数，-(A-O)-及-(B-O)-的重复单元的排列可以为无规也可以为嵌段，在为嵌段的情况下，-(A-O)-和-(B-O)-中的任一者在联苯基侧均可。