[发明专利]旋转磁场霍尔测量系统

权利要求书

1.一种旋转磁场霍尔装置，包括：

第一磁体和第二磁体，其以主从配置而布置；

被测设备DUT台，可插入在所述第一磁体和第二磁体之间，DUT可分别以用于霍尔测量或光电磁PEM测试的第一朝向或第二朝向布置在所述DUT台上；

控制器，被布置为在垂直维度上调动所述第一磁体和在垂直维度上和水平维度上调动所述DUT台，以使所述DUT台在所述第一磁体和第二磁体之间居中；以及

正交磁场传感器系统，包括：

第一和第二横向定向的尖顶；

第一传感器，被设置在所述第一尖顶上，以在垂直维度上面向上，以面向所述第一磁体的面向下的横向和非纵向表面；和

第二传感器，被设置在所述第二尖顶上，以在水平维度上面向侧面，以面向所述第一磁体的面向侧面的侧面和非纵向侧面，

所述第一和第二传感器被配置为促进所述第一磁体和第二磁体的位置初始化并且被配置为生成用于相敏霍尔信号检测或锁定霍尔信号检测的同相参考信号和异相参考信号。

2.如权利要求1所述的装置，其中在所述第一磁体的侧面旁边布置所述正交磁场传感器系统。

3.如权利要求1所述的装置，其中：

所述第一磁体包括具有横向磁化的马达驱动圆柱形磁体；

所述第二磁体包括随所述马达驱动圆柱形磁体而旋转的自由旋转圆柱形磁体；并且所述控制器包括被布置为分别调动所述马达驱动圆柱形磁体和所述DUT台的第一控制器和第二控制器。

4.如权利要求2或权利要求3所述的装置，其中所述第一磁体和第二磁体被平行布置。

5.如权利要求2或权利要求3所述的装置，还包括磁通集中器以增大所述第一磁体和第二磁体之一的磁场。

6.如权利要求5所述的装置，其中所述磁通集中器被提供为在所述第一磁体和所述DUT台之间插入的第一磁通集中器和在所述第二磁体和所述DUT台之间插入的第二磁通集中器。

7.如权利要求5所述的装置，其中所述磁通集中器包括高磁导率材料。

8.如权利要求2或权利要求3所述的装置，还包括被布置为朝着所述DUT发光的光源。

9.如权利要求2或权利要求3所述的装置，其中所述DUT包括霍尔样本或范德堡样本，并且还包括被布置为向所述DUT施加电流的接触终端面板。

10.如权利要求3所述的装置，其中所述第一控制器在第一维度上调动所述马达驱动圆柱形磁体，并且所述第二控制器在所述第一维度以及第二维度和第三维度上调动所述DUT台。

11.如权利要求10所述的装置，还包括限位器，被布置为在所述第一维度上限制所述自由旋转圆柱形磁体的移动。

12.如权利要求10所述的装置，还包括标尺，用于确定所述马达驱动圆柱形磁体与所述自由旋转圆柱形磁体之间在所述第一维度上的距离。

13.如权利要求3所述的装置，其中所述正交磁场传感器系统被布置在所述马达驱动圆柱形磁体的侧面旁边。