[发明专利]弹性波装置及其制造方法

说明书

本发明提供一种在划片工序时难以产生层间的剥离的弹性波装置及其制造方法。弹性波装置(1)具备：压电体层(2)，具有第一主面(2a)和与该第一主面(2a)对置的第二主面(2b)；声反射层(5)，层叠在压电体层(2)的第一主面(2a)上；激励电极，设置在压电体层(2)；以及支承层(6)。声反射层(5)位于在从压电体层(2)的第二主面(2b)侧的俯视下至少与激励电极重叠的位置。支承层(6)设置为至少在从压电体层(2)的第二主面(2b)侧的俯视下包围声反射层(5)。

技术领域

本发明涉及弹性波装置及其制造方法。

背景技术

以往，弹性波装置广泛用于便携式电话机等。在下述的专利文献1中，公开了一种利用板波的弹性波装置。在该弹性波装置中，在压电体层与支承基板之间设置有声反射层。声反射层由低声阻抗层和高声阻抗层层叠而成。

在下述的专利文献2记载的弹性波装置中，在压电体层上层叠有由低声阻抗层以及高声阻抗层构成的反射层。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2012/086441号

专利文献2：日本专利第5046961号

发明内容

发明要解决的课题

然而，在专利文献1、专利文献2记载的弹性波装置中，在进行划片而单片化时，有时压电体层与低声阻抗层会剥离。进而，在划片时，有时低声阻抗层与高声阻抗层也会剥离。

本发明的目的在于，提供一种在划片工序时难以产生层间的剥离的弹性波装置及其制造方法。

用于解决课题的技术方案

本发明涉及的弹性波装置具备：压电体层，具有第一主面和与该第一主面对置的第二主面；声反射层，层叠在所述压电体层的所述第一主面上；激励电极，设置在所述压电体层；以及支承层，所述声反射层位于在从所述压电体层的所述第二主面侧的俯视下至少与所述激励电极重叠的位置，所述支承层设置为至少在从所述压电体层的第二主面侧的俯视下包围所述声反射层。

在本发明涉及的弹性波装置的某个特定的局面中，所述支承层设置为在从所述压电体层的所述第二主面侧的俯视下包围所述压电体层。在该情况下，在划片工序时，更加难以产生压电体层与声反射层的剥离。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述声反射层具有多个声阻抗层，所述多个声阻抗层具有至少一层低声阻抗层和声阻抗比所述低声阻抗层高的至少一层高声阻抗层。在该情况下，能够使从压电体层传播到声反射层的弹性波在低声阻抗层与高声阻抗层的界面处反射。因此，能够有效地封闭弹性波的能量。进而，在制造工序中的划片时，更加难以产生低声阻抗层与高声阻抗层的剥离。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的局面中，在所述多个声阻抗层中的至少一层的外侧配置有空隙。在该情况下，通过在该空隙使弹性波的无用波进行漫反射，从而可抵消无用波，能够抑制无用波。因此，能够将弹性波的主模的能量有效地封闭在压电体层侧。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的局面中，所述低声阻抗层以及所述高声阻抗层中的任一方为所述支承层的一部分。在该情况下，能够减少材料的种类。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的局面中，所述低声阻抗层以及所述高声阻抗层中的在外侧配置有所述空隙的层是金属层。在该情况下，能够更可靠地配置空隙。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的局面中，所述空隙位于所述多个声阻抗层中的在层叠方向上连续的至少两层的外侧。在该情况下，能够将弹性波的能量更有效地封闭在压电体层侧。