[发明专利]玻璃在审
| 申请号： | 201680012773.9 | 申请日： | 2016-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN107406300A | 公开（公告）日： | 2017-11-28 |
| 发明（设计）人： | 齐藤敦己 | 申请（专利权）人： | 日本电气硝子株式会社 |
| 主分类号： | C03C3/085 | 分类号： | C03C3/085;C03C3/087;C03C3/091;H01L33/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 张玉玲 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 | ||
1.一种玻璃，其特征在于，以摩尔％计含有SiO2 55％～80％、Al2O3 11％～30％、B2O30％～3％、Li2O+Na2O+K2O 0％～3％、和MgO+CaO+SrO+BaO 5％～35％作为玻璃组成，且应变点高于700℃。
2.根据权利要求1所述的玻璃，其特征在于，B2O3的含量不足1摩尔％。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃，其特征在于，Li2O+Na2O+K2O的含量为0.2摩尔％以下。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的玻璃，其特征在于，摩尔比(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3为0.5～5。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的玻璃，其特征在于，摩尔比MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)不足0.5。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的玻璃，其特征在于，在30℃～380℃的温度范围内的热膨胀系数为40×10－7/℃以上。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的玻璃，其特征在于，应变点为800℃以上。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的玻璃，其特征在于，(102.5dPa·s时的温度－应变点)为900℃以下。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的玻璃，其特征在于，102.5dPa·s的粘度时的温度为1750℃以下。
10.根据权利要求1～9中任一项所述的玻璃，其特征在于，其为平板形状。
11.根据权利要求1～10中任一项所述的玻璃，其特征在于，其被使用在用于制作半导体晶体的基板中。
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