[发明专利]平移式Z轴加速度计

权利要求书

1.一种MEMS传感器，包括：

基底；

锚定区域，其联接到所述基底；

第一支撑臂，其联接到所述锚定区域；

第二支撑臂，其联接到所述锚定区域；

第一引导臂，其联接到所述第一支撑臂，其中所述第一引导臂相对于所述第一支撑臂移动；

第二引导臂，其联接到所述第二支撑臂，其中所述第二引导臂相对于所述第二支撑臂移动；

第一多个感测元件，其用于测量所述第一引导臂和所述第二引导臂相对于所述基底的运动；以及

检测质量块系统，其经由第一组弹簧中的第一弹簧联接到所述第一引导臂并且经由所述第一组弹簧中的第二弹簧联接到所述第二引导臂，其中所述检测质量块系统设置在所述锚定区域、所述第一支撑臂、所述第二支撑臂、所述第一引导臂、所述第二引导臂、所述第一组弹簧以及所述第一多个感测元件外。

2.根据权利要求1所述的MEMS传感器，其中，所述锚定区域包括所述基底上的至少一个锚定点。

3.根据权利要求1所述的MEMS传感器，其中，所述检测质量块系统包括至少一个检测质量块。

4.根据权利要求1所述的MEMS传感器，其中，所述检测质量块系统包括与多个弹簧联接在一起的多个检测质量块。

5.根据权利要求1所述的MEMS传感器，其中，所述第一引导臂经由第二组弹簧中的第一弹簧联接到所述第一支撑臂，并且所述第二引导臂经由所述第二组弹簧中的第二弹簧联接到所述第二支撑臂。

6.根据权利要求1所述的MEMS传感器，其中，所述第一引导臂对于所述第二引导臂反相旋转。

7.根据权利要求1所述的MEMS传感器，还包括：

第二多个感测元件，其用于测量所述第一支撑臂和所述第二支撑臂相对于所述基底的运动。

8.根据权利要求5所述的MEMS传感器，其中，所述第一引导臂经由第三组弹簧中的第一弹簧联接到所述第二支撑臂，并且所述第二引导臂经由所述第三组弹簧中的第二弹簧联接到所述第一支撑臂。

9.根据权利要求8所述的MEMS传感器，其中，所述第二组弹簧中的所述第一弹簧和所述第三组弹簧中的所述第一弹簧设置在所述锚定区域的相对侧上，并且所述第二组弹簧中的所述第二弹簧和所述第三组弹簧中的所述第二弹簧设置在所述锚定区域的相对侧上。

10.根据权利要求8所述的MEMS传感器，其中，所述第一组弹簧、所述第二组弹簧以及所述第三组弹簧中的任一个提供扭转柔量。

11.根据权利要求8所述的MEMS传感器，其中，所述第二组弹簧和所述第三组弹簧提供围绕第一轴线的扭转柔量。

12.根据权利要求1所述的MEMS传感器，其中，所述MEMS传感器由单晶硅制成。

13.根据权利要求5所述的MEMS传感器，其中，所述第二组弹簧与第一轴线对准，其中，所述第一轴线与单晶硅的低弹性模量的100和010平面对准。

14.根据权利要求7所述的MEMS传感器，其中，所述第一多个感测元件和所述第二多个感测元件包括多个感测电极。

15.根据权利要求1所述的MEMS传感器，其中，所述第一多个感测元件检测所述第一引导臂和所述第二引导臂的垂直于所述基底的运动。

16.根据权利要求7所述的MEMS传感器，其中，所述第二多个感测元件检测所述第一支撑臂和所述第二支撑臂的垂直于所述基底的运动。