[发明专利]电子装置

说明书

本发明提供一种电子装置，所述电子装置能够抑制由于凸块电极的恢复力而引起的变形。所述电子装置包括：压力室形成基板(29)，其设置有在能够弯曲变形的驱动区域(a1)上的压电元件(32)，所述压电元件引起所述驱动区域(a1)变形；密封板(33)，其以具有弹性的凸块电极(40)介于压力室形成基板和密封板之间的状态布置为相对于所述压力室形成基板存在间隔；以及粘合剂(43)，其将所述压力室形成基板(29)与所述密封板(33)在保持所述间隔的状态下接合，并且所述粘合剂(43)至少设置在所述凸块电极(40)与所述驱动区域(a1)之间的区域上。

技术领域

本发明涉及一种设置有引起驱动区域变形的驱动元件的电子装置。

背景技术

一种电子装置是一种包括诸如压电元件的通过施加电压来进行变形的驱动元件的设备，并且用于各种设备或传感器。例如，在一种液体喷射设备中，使用电子装置的液体喷射头喷射各种液体。作为这样的液体喷射设备的例子，有一种诸如喷墨式打印机或喷墨式绘图机的图像记录设备，并且近来，液体喷射设备因其少量的液体能够精确地着落在预定位置的特点而已经被应用于各种类型的制造设备。例如，液体喷射设备已经被应用于制造诸如在液晶显示器中使用的滤色器的显示器制造装置、形成用于有机电致发光(EL)显示器、场致发射显示器(FED)等的电极的电极形成设备、以及制造生物芯片(生化元件)的芯片制造设备。该图像记录设备的记录头喷射液体状墨，并且用于显示器制造设备的颜色材料喷射头喷射红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)的各颜色材料的溶液。另外，用于电极形成设备的电极材料喷射头喷射液体状电极材料，而用于芯片制造设备的生化有机物喷射头喷射生物有机物溶液。

上述的液体喷射头包括：形成有穿入压力室的喷嘴的压力室形成基板、产生所述压力室内的液体中的压力变动的压电元件(一种驱动元件)，及层压有相对于压电元件成间隔布置的密封板等的电子装置。近来，已开发了一种在密封板上设置用于驱动压电元件的驱动电路(被称为驱动器电路)的技术。这样的密封板以及层压有压电元件的压力室形成基板以凸块电极介于两者之间的状态通过粘合剂而彼此接合(例如，参考PTL1)。于是，驱动电路和压电元件通过凸块电极彼此电连接。

引用列表

专利文献

PTL1：JP-A-2014-51008

发明内容

技术问题

上述的凸块电极设置在密封板和压力室形成基板中的任一个上，并且通过施加压力而与设置在另一基板上的电极导通。在此，为了通过凸块电极可靠地进行导通，已经开发出树脂的表面覆盖有导电膜的具有弹性的凸块电极。这样的凸块电极以在高度方向被按压的状态固定在密封板与压力室形成基板之间。但是，会担忧密封板和压力室形成基板由被按压的凸块电极的弹性恢复力加压，并且密封板或压力室形成基板变形。特别地，当由压电元件驱动的驱动区域(振动区域)变形时，存在液体不能正常地喷射的担忧。

本发明是为了解决上述问题，并且其目的在于提供一种能够抑制由凸块电极的恢复力而引起的变形的电子装置。

问题的解决方案

本发明的电子装置为了实现该目的而提出，并且包括：第一基板，其设置有在能够弯曲变形的驱动区域上的压电元件，所述压电元件引起所述驱动区域变形；第二基板，其以具有弹性的凸块电极介于所述第一基板与所述第二基板之间的状态布置为相对于所述第一基板存在间隔；以及感光性粘合剂，其将所述第一基板以保持所述间隔的状态接合到所述第二基板，其中所述感光性粘合剂至少设置在所述凸块电极与所述驱动区域之间的区域上。