[发明专利]通过空间谐波的多重截断而优化计算效率

权利要求书

1.一种测量系统，其包括：

照明源，其经配置以将一定量的照明光提供到具有多重空间周期的周期性计量目标，所述多重空间周期包含沿所述周期性计量目标的第一方向的一基本空间周期及一或多个逼近空间周期，其中所述一或多个逼近空间周期中的每一者是所述基本空间周期的整数分数；

检测器，其经配置以接收响应于所述一定量的照明光而从所述周期性计量目标收集的一定量的光且产生多个经测量信号；及

一或多个计算系统，其经配置以：

接收对所述周期性计量目标的所述多重空间周期的指示；

根据所述周期性计量目标的所述多重空间周期中的每一者将与所述周期性计量目标相关联的多个空间谐波分类为多个不同群组，其中每一空间谐波群组具有不同谐波间隔；及

选择与所述多个不同空间谐波群组中的每一者相关联的截断阶数。

2.根据权利要求1所述的测量系统，其中所述一或多个计算系统进一步经配置以：

从所述检测器接收所述多个经测量信号；及

执行回归分析以基于以选定截断阶数所模拟的测量模型与所述经测量信号的拟合而估计所述周期性计量目标的一或多个所关注参数，其中以所述选定截断阶数所模拟的所述测量模型包含电磁模拟器，所述电磁模拟器利用所述周期性计量目标关于所述多个空间谐波的傅里叶展开。

3.根据权利要求1所述的测量系统，其中从用户接收对所述计量目标的所述多重空间周期的所述指示。

4.根据权利要求1所述的测量系统，其进一步包括：

确定所述周期性计量目标的所述多重空间周期中的每一者。

5.根据权利要求4所述的测量系统，其中所述确定所述周期性计量目标的所述多重空间周期中的每一者涉及：

以相对高的截断阶数计算周期性计量目标几何形状的电介质电容率的空间谐波的傅里叶级数；及

分析所述傅里叶级数的所述空间谐波中的每一者的振幅。

6.根据权利要求4所述的测量系统，其中所述确定所述周期性计量目标的所述多重空间周期中的每一者涉及分析所述周期性计量目标的几何形状。

7.根据权利要求1所述的测量系统，其中所述选择与所述多个不同空间谐波群组中的每一者相关联的所述截断阶数涉及：

确定所述多个不同群组中的每一者的所述空间谐波中的每一者的振幅；及

基于所述多个不同群组中的每一者的所述空间谐波的所述振幅的衰变速率而选择与所述多个不同群组中的每一者相关联的所述截断阶数。

8.根据权利要求1所述的测量系统，其中所述选择与所述多个不同空间谐波群组中的每一者相关联的所述截断阶数涉及：

使用电磁模拟器对所述多个不同空间谐波群组中的每一者执行单独收敛测试，所述电磁模拟器利用所述周期性计量目标关于所述多个空间谐波的傅里叶展开。

9.根据权利要求1所述的测量系统，其中具有沿所述周期性计量目标的所述第一方向的多重空间周期的所述目标还包含沿不同于所述第一方向的第二方向的多重空间周期，其中沿所述第二方向的所述多重空间周期包含沿所述周期性计量目标的所述第二方向的一基本空间周期及一或多个逼近空间周期，其中沿所述第二方向的所述一或多个逼近空间周期中的每一者是沿所述第二方向的所述基本空间周期的整数分数。

10.根据权利要求1所述的测量系统，其中不同截断阶数与所述多个不同空间谐波群组中的每一者相关联。

11.根据权利要求2所述的测量系统，其中所述电磁模拟器是基于傅里叶的电磁模拟器。

12.根据权利要求1所述的测量系统，其中所述周期性计量目标包含具有相对小间距的第一周期性目标，所述第一周期性目标被具有相对大间距的第二周期性图案划分成若干群组。