[发明专利]新型肟酯衍生物化合物、包含其的光聚合引发剂及光致抗蚀剂组合物有效
申请号: | 201680008616.0 | 申请日: | 2016-02-02 |
公开(公告)号: | CN107250105B | 公开(公告)日: | 2019-08-20 |
发明(设计)人: | 吴泉林;辛承林;申钟一;安庆龙;全根;李得洛;赵镛一;李敏善;李元重;李栽训 | 申请(专利权)人: | 韩国化学研究院;株式会社三养社 |
主分类号: | C07C251/66 | 分类号: | C07C251/66;C07C251/68;G03F7/004 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 苗堃;金世煜 |
地址: | 韩国大*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 新型 衍生物 化合物 包含 聚合 引发 光致抗蚀剂 组合 | ||
1.一种肟酯衍生物化合物,其由下述化学式2至4表示:
化学式2
化学式3
化学式4
所述化学式2至4中,
R1至R5各自独立地为氢、卤素、C1-C20烷基、C6-C20芳基、C1-C20烷氧基、C6-C20芳基C1-C20烷基、羟基C1-C20烷基、羟基C1-C20烷氧基C1-C20烷基、C3-C20环烷基或C3-C20环烷基C1-C20烷基;
A为氢、卤素、C1-C20烷基、C6-C20芳基、C6-C20芳基C1-C20烷基、氨基、硝基、氰基或羟基;
m为选自0至2中的整数;
a和b为0或1的整数。
2.根据权利要求1所述的肟酯衍生物化合物,其中,所述R1至R5各自独立地选自氢、溴、氯、碘、甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、苯基、萘基、联苯基、三联苯基、蒽基、茚基、菲基、甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基、苄基、羟基甲基、羟基乙基、羟基丙基、羟基丁基、羟基戊基、羟基己基、羟基甲氧基甲基、羟基甲氧基乙基、羟基甲氧基丙基、羟基甲氧基丁基、羟基乙氧基甲基、羟基乙氧基乙基、羟基乙氧基丙基、羟基乙氧基丁基、羟基乙氧基戊基、羟基乙氧基己基、环丙基、环戊基、环己基、环丙基甲基、环戊基甲基和环己基甲基。
3.根据权利要求1所述的肟酯衍生物化合物,其中,所述A选自氢、溴、氯、甲基、乙基、丙基、丁基、苯基、萘基、联苯基、三联苯基、蒽基、茚基、菲基、苄基、氨基、硝基、氰基和羟基。
4.一种光聚合引发剂,其包含权利要求1所述的肟酯衍生物化合物。
5.一种光致抗蚀剂组合物,其包含权利要求1所述的肟酯衍生物化合物、粘合剂树脂和光反应性化合物。
6.根据权利要求5所述的光致抗蚀剂组合物,其特征在于,相对于光致抗蚀剂组合物共100重量%,所述肟酯衍生物化合物包含0.01至10重量%。
7.根据权利要求5所述的光致抗蚀剂组合物,其中,所述光致抗蚀剂组合物中进一步包含着色材料。
8.一种成型物,其包含权利要求5或7所述的光致抗蚀剂组合物的固化物。
9.一种显示装置,其包含权利要求8所述的成型物。
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