[发明专利]多层纳米纤维化学机械抛光垫有效

专利信息
申请号: 201680007688.3 申请日: 2016-01-29
公开(公告)号: CN107206570B 公开(公告)日: 2021-04-02
发明(设计)人: R·D·托勒斯;M·C·奥里拉利;F·C·雷德克;R·巴贾杰 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: B24B37/22 分类号: B24B37/22;B24B37/24
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 侯颖媖
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 多层 纳米 纤维 化学 机械抛光
【权利要求书】:

1.一种抛光垫,其包括:

层,其由随机分布的纤维构成,所述随机分布的纤维中的每一个具有20纳米至900纳米的直径和每立方厘米0.1克至每立方厘米50克的密度,其中所述层包括重量百分比5至重量百分比30的聚合物材料和无机材料。

2.如权利要求1所述的抛光垫,其中所述层包括抛光材料,所述抛光材料卷绕在用于辊对辊抛光系统上的供应辊上。

3.如权利要求2所述的抛光垫,其中所述层具有小于0.032英寸的厚度。

4.如权利要求2所述的抛光垫,其中所述纤维的交叉点包括涂层。

5.如权利要求1所述的抛光垫,其中所述层设置在背层上。

6.如权利要求5所述的抛光垫,其中所述层和所述背层包括抛光材料,所述抛光材料卷绕在用于辊对辊抛光系统上的供应辊上。

7.如权利要求5所述的抛光垫,其中所述纤维的交叉点包括涂层。

8.一种抛光垫,其包括:

第一层,其具有0.007英寸至0.001英寸的厚度,所述第一层包括随机纤维,每一个纤维具有20纳米至900纳米的直径,其中所述第一层包括重量百分比5至重量百分比30的聚合物材料和重量百分比1至重量百分比30的无机材料;以及

第二层,其粘附至所述第一层的背面,

其中在所述第一层中的两个或更多个纤维上及所述两个或更多个纤维之间设置涂层。

9.如权利要求8所述的抛光垫,其中所述第一层包括每立方厘米0.1克至每立方厘米50克的密度。

10.如权利要求8所述的抛光垫,其中所述抛光垫卷绕在用于辊对辊抛光系统上的供应辊上。

11.如权利要求8所述的抛光垫,其中所述第二层包括背层。

12.如权利要求11所述的抛光垫,其中所述背层包括50肖氏D至65肖氏D的硬度。

13.如权利要求8所述的抛光垫,其中所述第二层包括纤维层。

14.如权利要求13所述的抛光垫,其中所述纤维层包括类似于所述第一层的随机纤维。

15.一种自基板去除材料的方法,其包括:

将基板推向压板上的纤维层,所述纤维层设置在供应辊与卷绕辊之间并且具有小于0.032英寸的厚度和由各自具有20纳米至900纳米的直径的纤维构成,其中所述纤维层包括重量百分比5至重量百分比30的聚合物材料和重量百分比1至重量百分比30的无机材料;

相对于所述基板,旋转所述压板以及所述供应辊和所述卷绕辊;

自所述基板的表面去除材料;以及

在自所述基板去除材料之后相对于所述压板推进所述纤维层。

16.如权利要求15所述的方法,其中所述推进包括相对于所述压板将所述纤维层推进0.1mm与20mm之间。

17.如权利要求15所述的方法,其中所述推进包括相对于所述压板将所述纤维层推进1mm与5mm之间。

18.如权利要求15所述的方法,其中所述纤维层耦接至背层。

19.如权利要求15所述的方法,其中所述纤维层设置在供应辊上。

20.如权利要求19所述的方法,其中所述纤维层包括20英尺至100英尺的长度。

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