[发明专利]保持光刻系统中的部件的组合件和光刻系统

权利要求书

1.一种安装光刻设备(100)中的部件(M6)的布置(200)，包括

重力补偿装置(202)，在所述部件(M6)上施加补偿力，所述补偿力至少部分地补偿作用在所述部件(M6)上的重力，以及

至少一个调节装置(400)，调节所述补偿力，其中所述至少一个调节装置(400)包括具有可设定的永久磁化的第一磁体(500)和设定所述第一磁体(500)的永久磁化的装置(510)，

其中所述至少一个调节装置(400)包括第二磁体(502)，所述第二磁体(502)具有不能够通过设定所述第一磁体(500)的永久磁化的所述装置(510)改变的永久磁化。

2.如权利要求1所述的布置，其中所述第一磁体(500)包括具有中等矫顽场强度的材料。

3.如权利要求2所述的布置，其中所述中等矫顽场强度的材料具有在10与300kA/m之间的矫顽场强度。

4.如权利要求3所述的布置，其中所述中等矫顽场强度的材料具有在40与200kA/m之间的矫顽场强度。

5.如权利要求3所述的布置，其中所述中等矫顽场强度的材料具有在50与160kA/m之间的矫顽场强度。

6.如权利要求2或3所述的布置，其中所述中等矫顽场强度的材料包括AlNiCo。

7.如权利要求1所述的布置，其中所述第一磁体(500)产生第一磁场(602)，并且所述第二磁体(502)产生第二磁场(608)，其中，取决于设定所述第一磁体(500)的永久磁化的所述装置(510)的设定，所述第一磁场和第二磁场(602、608)至少部分地或完全地彼此抵消或加和在一起。

8.如权利要求1所述的布置，其中所述第二磁体(502)包括高矫顽场强度的材料。

9.如权利要求8所述的布置，其中所述高矫顽场强度的材料具有600与3000kA/m之间的矫顽场强度。

10.如权利要求9所述的布置，其中所述高矫顽场强度的材料具有在750与2500kA/m之间的矫顽场强度。

11.如权利要求9所述的布置，其中所述高矫顽场强度的材料具有在800与950kA/m之间的矫顽场强度。

12.如权利要求8或9所述的布置，其中所述高矫顽场强度的材料包括SmCo和/或NdFeB。

13.如权利要求1所述的布置，其中设定所述第一磁体(500)的永久磁化的所述装置(510)具有线圈(504)，并且其中所述第一磁体和所述第二磁体(500、502)布置在所述线圈(504)内。

14.如权利要求1所述的布置，还包括多个调节装置(400)，所述多个调节装置(400)各具有第一磁体和第二磁体(500、502)以及设定相应的第一磁体(500)的永久磁化的装置(510)，其中所述相应的第一磁体(500)产生第一磁场(602)，并且相应的第二磁体(502)产生第二磁场(608)，其中，取决于设定所述相应的第一磁体(500)的永久磁化的相应的装置(510)的设定，所述第一磁场和所述第二磁场(602、608)至少部分地或完全地彼此抵消或加和在一起。

15.如权利要求14所述的布置，其中设定所述相应的第一磁体(500)的永久磁化的所述相应的装置(510)包括相应的线圈(504)，其中所述线圈(504)具有不同匝数且串联连接。

16.如权利要求1-3中任一项所述的布置，其中设定所述第一磁体(500)的永久磁化的所述装置(510)具有线圈(504)和用电流脉冲激励所述线圈(504)的激励装置(506)。