[发明专利]研磨垫有效
| 申请号： | 201680006010.3 | 申请日： | 2016-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN107107307B | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 村上阳平;大嶋伸之;中野裕之 | 申请（专利权）人： | 霓达杜邦股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;C08G18/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨垫，其由发泡聚氨酯形成，
通过25℃下的脉冲NMR测定求出的所述发泡聚氨酯中的S相的含有比例大于70％。
2.根据权利要求1所述的研磨垫，其中，通过在60℃下的脉冲NMR测定求出的所述发泡聚氨酯中的S相的含有比例与通过25℃下的脉冲NMR测定求出的所述发泡聚氨酯中的S相的含有比例之比为80％以上。
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