[发明专利]谐振器

说明书

本发明提供一种与以往相比进一步提高了谐振器特性的谐振器。谐振器具有支承框、以及沿规定的方向相互平行地延伸的第一边以及第二边，并且具备沿着规定的方向进行轮廓振动的矩形的振动部、以及分别连接振动部的第一边和支承框、第二边和支承框的两对支承部。振动部具有在规定的方向上并列配置且各振动区域相对于相邻的其它振动区域以相反相位进行振动的至少四个振动区域、以及形成于振动区域的每一个的电极膜。电极膜的规定的方向上的中心线从形成有该电极膜的振动区域的规定的方向上的中心线偏移。

技术领域

本发明涉及谐振器。

背景技术

所谓在宽度扩展振动模式下进行振动的压电谐振器具备例如呈矩形形状扩展的支承框以及配置于该支承框内的例如矩形形状的振动部。振动部具备在第一方向上并列配置的例如四个振动区域，通过以相反相位对彼此相邻的振动区域施加电场，产生在第一方向上反复伸缩的伸缩振动。

振动部通过沿与第一方向正交的第二方向延伸的例如两对支承部与支承框连接。各对支承部与比例如配置于第一方向的两端的振动区域靠内侧的彼此相邻的内侧的振动区域的每一个连接。各支承部在规定为节点即位移最小点的第一方向上的各振动区域的中心线上的端部与内侧的各振动区域连接。

专利文献1：美国专利第7639105号说明书

专利文献2：日本特开2008-228195号公报

已知由于彼此相邻的内侧的各振动区域在第一方向的两侧与振动区域相邻，所以在该内侧的各振动区域中，因受到两侧的振动区域的位移的影响而导致第一方向上的中心线上的端部不是节点。因此，即使支承部与内侧的振动区域的中心线上的端部连接，也得不到充分的谐振器特性。

发明内容

本发明是鉴于这样的情况完成的，其目的在于提供一种与以往相比进一步提高了谐振器特性的谐振器。

本发明的一个方面所涉及的谐振器具备：支承框；矩形的振动部，其具有沿着规定的方向相互平行地延伸的第一边以及第二边，并沿规定的方向进行轮廓振动；以及两对支承部，其分别连接振动部的第一边和支承框、第二边和支承框，

振动部具有在规定的方向上并列配置且各振动区域相对于相邻的其它振动区域以相反相位进行振动的至少四个振动区域、以及形成于振动区域的每一个的电极膜，

电极膜的规定的方向上的中心线从形成有该电极膜的振动区域的规定的方向上的中心线偏移。

本发明的另一个方面所涉及的谐振器具有：支承框；矩形的振动部，其具有沿着规定的方向相互平行地延伸的第一边以及第二边，并沿规定的方向进行轮廓振动；以及两对支承部，其分别连接振动部的第一边和支承框、第二边和支承框，

振动部具有在规定的方向上并列配置且各振动区域相对于相邻的其它振动区域以相反相位进行振动的至少四个振动区域，

支承部的规定的方向上的中心线从连接有该支承部的振动区域的规定的方向上的中心线偏移。

根据本发明，能够提供一种与以往相比进一步提高了谐振器特性的谐振器。

附图说明

图1是示意性地表示一个具体例子所涉及的压电振动装置的构造的分解立体图。

图2是示意性地表示本发明的第一实施方式所涉及的压电振子的构造的俯视图。

图3是沿着图2的3-3线切割的剖面的示意图。

图4是表示对上侧电极膜以及支承部的中心线的偏移的效果进行验证的结果的图表。

图5是表示对上侧电极膜以及支承部的中心线的偏移的效果进行验证的结果的图表。

图6是表示对上侧电极膜以及支承部的中心线的偏移的效果进行验证的结果的图表。