[发明专利]表面辅助激光解吸电离法、质量分析方法和质量分析装置

权利要求书

1.一种表面辅助激光解吸电离法，其特征在于，

包括：

第一工序，其准备试样支撑体，所述试样支撑体具有设置有从一个面贯通到另一个面的多个贯通孔的基板、和由导电性材料构成且至少覆盖所述一个面上未设置有所述贯通孔的部分的导电层；

第二工序，其将一个薄膜状的试样载置于试样台，且以所述另一个面与所述试样相对的方式将所述试样支撑体配置于所述试样上；和

第三工序，其通过向所述一个面照射激光，从而使利用毛细管现象从所述另一个面侧经由所述贯通孔而移动至所述一个面侧的所述试样电离，

所述多个贯通孔至少被设置于实效区域，所述实效区域作为用于利用毛细管现象在维持了所述试样的位置信息的状态下使所述试样从所述另一个面向所述一个面移动的区域而发挥功能，

在所述第二工序中，所述试样支撑体以俯视时在所述实效区域内包含所述试样的方式，被配置于所述试样上。

2.如权利要求1所述的表面辅助激光解吸电离法，其特征在于，

所述基板通过将阀金属或硅阳极氧化而形成。

3.如权利要求1所述的表面辅助激光解吸电离法，其特征在于，

所述贯通孔的宽度为1～700nm。

4.如权利要求1所述的表面辅助激光解吸电离法，其特征在于，

所述基板的厚度为5～10μm。

5.如权利要求1所述的表面辅助激光解吸电离法，其特征在于，

所述试样支撑体还具有安装于所述基板的所述一个面的外缘部的框体，

所述导电层覆盖所述框体的表面。

6.如权利要求1所述的表面辅助激光解吸电离法，其特征在于，

在所述第二工序中，以所述导电层和所述试样台被电连接的方式，所述试样支撑体通过具有导电性的粘着胶带而被固定于所述试样台。

7.一种表面辅助激光解吸电离法，其特征在于，

包括：

第一工序，其准备试样支撑体，所述试样支撑体具有由导电性材料构成且设置有从一个面贯通到另一个面的多个贯通孔的基板；

第二工序，其将一个薄膜状的试样载置于试样台，且以所述另一个面与所述试样接触的方式将所述试样支撑体配置于所述试样上；和

第三工序，其通过向所述一个面照射激光，从而使利用毛细管现象从所述另一个面侧经由所述贯通孔而移动至所述一个面侧的所述试样电离，

所述多个贯通孔至少被设置于实效区域，所述实效区域作为用于利用毛细管现象在维持了所述试样的位置信息的状态下使所述试样从所述另一个面向所述一个面移动的区域而发挥功能，

在所述第二工序中，所述试样支撑体以俯视时在所述实效区域内包含所述试样的方式，被配置于所述试样上。

8.一种质量分析方法，其特征在于，

包括：

权利要求1～7中任一项所述的表面辅助激光解吸电离法的各工序；和

对所述第三工序中被电离的所述试样进行检测的第四工序，

所述多个贯通孔至少被设置于实效区域，所述实效区域作为用于利用毛细管现象在维持了所述试样的位置信息的状态下使所述试样从所述另一个面向所述一个面移动的区域而发挥功能，

一边改变所述激光的照射位置，一边在每个该照射位置进行所述第三工序中的所述激光的照射和所述第四工序中的被电离的所述试样的检测。