[发明专利]光半导体装置

权利要求书

1.一种光半导体装置，具备：

振荡波长不同的多个半导体激光元件；和

阵列波导路衍射光栅，其与所述多个半导体激光元件连接，且将从所述多个半导体激光元件射出的激光汇合到同一点，

在所述光半导体装置中，

所述多个半导体激光元件至少被分为第1组和第2组，

所述阵列波导路衍射光栅构成为：

来自属于所述第1组的半导体激光元件的激光，在所述阵列波导路衍射光栅内通过第1衍射次数的衍射而被汇合到所述同一点，

来自属于所述第2组的半导体激光元件的激光，在所述阵列波导路衍射光栅内通过与所述第1衍射次数不同的第2衍射次数的衍射而被汇合到所述同一点，

并且所述阵列波导路衍射光栅与所述第1以及第2组的半导体激光元件连接，

所述阵列波导路衍射光栅具有输入侧平板波导路，

来自属于所述第1组的半导体激光元件的激光，经由第1输入波导路群分别被导向所述输入侧平板波导路的输入端面，

来自属于所述第2组的半导体激光元件的激光，经由第2输入波导路群分别被导向所述输入侧平板波导路的输入端面，

在所述输入端面，属于所述第1以及第2输入波导路群的输入波导路，在其各自的群内，按照各自所引导的激光的波长顺序排列，

所述第1输入波导路群与所述第2输入波导路群，在所述输入侧平板波导路的所述输入端面上横向排列配置，在所述第1输入波导路群与所述第2输入波导路群的边界处属于各自的群的2个所述输入波导路，按照与各个输入波导路内的波长顺序相反的顺序排列。

2.根据权利要求1所述的光半导体装置，其中，

所述阵列波导路衍射光栅被构成为，对于所述半导体激光元件的各个激光汇合到所述同一点为止的损耗而言，在这些多个激光所构成的波段中，该波段的端侧的所述损耗比中心侧小。

3.根据权利要求1所述的光半导体装置，其中，

所述多个半导体激光元件的振荡波长的最长波长和最短波长之间的宽度、与所述阵列波导路衍射光栅的自由光谱区宽度相同。

4.根据权利要求1所述的光半导体装置，其中，

对与所述半导体激光元件的振荡波长的顺序不同的部位进行设定，使得振荡波段整体的输出光强度差变小。

5.根据权利要求1所述的光半导体装置，其中，

所述半导体激光元件和所述阵列波导路衍射光栅被集成于同一半导体光集成元件。

6.根据权利要求5所述的光半导体装置，其中，

在所述半导体光集成元件中，所述多个半导体激光元件和多个输入波导路以及所述阵列波导路衍射光栅被集成在同一基板上。

7.根据权利要求5所述的光半导体装置，其中，

所述半导体光集成元件，通过将所述多个半导体激光元件和所述阵列波导路衍射光栅形成在不同的基板上，并经由多个输入波导路进行光学连接来集成。

8.根据权利要求5所述的光半导体装置，其中，

所述半导体光集成元件还集成了波导路型光功能元件。

9.根据权利要求5所述的光半导体装置，其中，

还具备从所述半导体光集成元件射出的激光被耦合的波导路型光功能元件。

10.根据权利要求8或权利要求9所述的光半导体装置，其中，

所述波导路型光功能元件具备半导体光放大器。

11.根据权利要求10所述的光半导体装置，其中，

所述阵列波导路衍射光栅中的中心波长，等于在所述半导体激光阵列的振荡波长中提供所述半导体光放大器的增益的最小值的波长。

12.根据权利要求1所述的光半导体装置，其中，

所述光半导体装置是波长可变激光光源。