[发明专利]膜厚监视装置用传感器、具备该膜厚监视装置用传感器的膜厚监视装置以及膜厚监视装置用传感器的制造方法在审
| 申请号： | 201680000656.0 | 申请日： | 2016-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN106104251A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 伊藤敦 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02;C23C14/54;G01B21/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 监视 装置 传感器 具备 以及 制造 方法 | ||
【说明书】：
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