[实用新型]用于放置硅片的可调节花篮

权利要求书

1.一种用于放置硅片的可调节花篮，其特征在于：包括两个平行设置的侧板和至少两个平行设置的螺杆，侧板的上端通过两个螺杆连接，两个螺杆在位于同一侧的端部分别设有形状和弹性系数相同的弹簧，螺杆上还设有若干个可拆卸的隔环，且相邻隔环之间形成用于放置硅片的隔槽，两个螺杆上的隔环一一对应，隔环在弹簧弹力作用下紧密排列在螺杆上，所述侧板的底部设有至少一个用于支撑硅片的横杆。

2.根据权利要求1所述的用于放置硅片的可调节花篮，其特征在于：螺杆的数量为四个，四个螺杆分别位于矩形的四个顶点，其中两个位于侧板的上端，其余的位于侧板的底部，底部的螺杆上均设有弹簧和可拆卸的隔环，底部螺杆的隔环与上端螺杆上的隔环形状相同、数量相同、位置对应，底部螺杆上的弹簧与上端螺杆上的弹簧的形状和弹性系数相同，且位置对应。

3.根据权利要求2所述的用于放置硅片的可调节花篮，其特征在于：所述隔环呈环状，且隔环中间部分向两侧突出，隔环上设有宽度小于螺杆直径的开口，隔环由具有弹性的橡胶或者塑料制成。

4.根据权利要求3所述的用于放置硅片的可调节花篮，其特征在于：所述横杆有两个，平行于螺杆设置，横杆外周面上包裹有具有弹性的橡胶层。