[实用新型]冷泵再生辅助加热装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及芯片制程技术领域，尤其是一种冷泵再生辅助加热装置。

背景技术

冷泵的正常工作温度为11～15K(零下260度左右)，在运行过程中会吸附芯片制程腔体中的水汽与制程气体，使其凝聚与吸附在冷泵腔体80K冷屏与15K冷伞表面。在冷泵再生(冷泵运行一定时间后需要将吸附其内的水汽与气体排出，此过程为再生)过程中，冷屏与冷伞表面的水汽会流入一级冷头腔内，现有冷泵加热装置只对冷泵冷伞部分的外腔壁加热，而一级冷头部分没有加热，由于腔内温度低，水汽无法在短时间内快速排出或排出不完全，造成冷泵再生时间加长，冷泵启动时真空管路结冰，启动时间加长，冷泵抽芯片制程腔体真空时间加长且真空无法达到芯片工艺制程要求，降低了冷泵的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：基于上述问题，提供一种冷泵再生辅助加热装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种冷泵再生辅助加热装置，包括冷泵腔及与冷冻机单元连接的冷头腔，所述冷泵腔外壁上设置有加热器，所述冷泵腔沿内壁设有一屏蔽筒，所述屏蔽筒内壁上设置有沿其轴向分布的冷屏，冷泵腔的中部设置有冷伞，所述冷伞的直径小于所述冷屏的直径，冷伞连接二级冷头，所述二级冷头连接伸出冷泵腔的一级冷头，所述一级冷头的直径大于二级冷头的直径，一级冷头位于冷头腔内，所述冷头腔的外壁上贴装有贴片式带温度传感器硅胶加热器。

具体地，所述贴片式带温度传感器硅胶加热器的内表面具有3M胶粘剂。

具体地，所述贴片式带温度传感器硅胶加热器的加热温度为50℃。

具体地，所述贴片式带温度传感器硅胶加热器的长度为30cm，其宽度为20cm。

具体地，所述冷泵腔外端部处安装有安全阀。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的加热装置可以快速的使冷泵内部水汽蒸发排出，节约40％冷泵再生时间，加热使冷泵冷头腔内干燥杂质气体排出更彻底，腔内环境更洁净，从而节约50％冷泵启动时间，提高冷泵利用率，冷泵内部环境的优化使在芯片制程中制程真空达到工艺要求且抽真空时间缩短，从而增加芯片产能，优化芯片良率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

图中：1.冷泵腔，2.冷头腔，3.屏蔽筒，4.冷屏，5.冷伞，6.二级冷头，7.一级冷头，8.贴片式带温度传感器硅胶加热器，9.安全阀，10.加热器。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1所示，一种冷泵再生辅助加热装置，包括冷泵腔1及与冷冻机单元连接的冷头腔2，冷泵腔1外壁上设置有加热器10，所述冷泵腔1沿内壁设有一屏蔽筒3，屏蔽筒3内壁上设置有沿其轴向分布的冷屏4，冷泵腔1的中部设置有冷伞5，冷伞5的直径小于所述冷屏4的直径，冷伞5连接二级冷头6，二级冷头6连接伸出冷泵腔1的一级冷头7，一级冷头7的直径大于二级冷头6的直径，一级冷头7位于冷头腔2内，冷头腔2的外壁上贴装有贴片式带温度传感器硅胶加热器8。

贴片式带温度传感器硅胶加热器8的内表面具有3M胶粘剂，它的加热温度为50℃，长度为30cm，其宽度为20cm。

贴片式带温度传感器硅胶加热器8的安装：贴片式带温度传感器硅胶加热器8的内表面具有3M胶粘剂，将其沿冷泵冷头腔2外壁边缘线贴装，贴装过程中保证贴片式带温度传感器硅胶加热器8与腔壁贴合紧密无气泡，贴装完成后在贴片式带温度传感器硅胶加热器8与腔壁接缝处涂抹高温硅胶，以保证贴片式带温度传感器硅胶加热器8在使用过程中不会翘起脱落。

冷泵腔1外端部处安装有安全阀9。因为是低温泵，所以当停泵时，冷泵腔1中会的残液会在常温下吸热汽化膨胀，所以要加装安全阀9。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。