[实用新型]一氧化硅纳米材料制备装置

权利要求书

1.一种一氧化硅纳米材料制备装置，其特征在于：包括真空炉、真空泵组、试样容器、多孔陶瓷过滤板、氩气罐、陶瓷氩气管、氩气预热加热器、冷凝器和一氧化硅收集罐，所述真空炉设置有氩气通入口和一氧化硅出料口，真空泵组与真空炉连通，并在真空泵组与真空炉之间设置阀门；所述试样容器用于放置混合物原料，试样容器置于真空炉中，所述多孔陶瓷过滤板置于试样容器内底部，所述氩气罐与陶瓷氩气管连通，真空炉外部的陶瓷氩气管上设置氩气预热加热器，陶瓷氩气管穿过氩气通入口沿试样容器内壁伸入到试样容器底部并连接多孔陶瓷过滤板底部接口；所述一氧化硅出料口连接冷凝器的一端，所述冷凝器内设置陶瓷填料，冷凝器的另一端连接一氧化硅收集罐，一氧化硅收集罐上设置有排气口，一氧化硅收集罐与真空泵组连通，并在一氧化硅收集罐与真空泵组之间设置阀门。

2.根据权利要求1所述的一氧化硅纳米材料制备装置，其特征在于：所述多孔陶瓷过滤板的孔径大小为1-5μm。

3.根据权利要求1所述的一氧化硅纳米材料制备装置，其特征在于：所述多孔陶瓷过滤板为碳化硅多孔陶瓷过滤板。