[实用新型]一种测量氢气浓度的光纤型传感器

权利要求书

1.一种测量氢气浓度的光纤型传感器，其特征在于：由LED光源(1)、光纤束(2)、光电探测器(3)、计算机(4)、密闭气室(5)、气室(6)、空气瓶(7)、氢气瓶(8)、第一铂金(Pt)/WO₃薄膜(9)、第二铂金(Pt)/WO₃薄膜(10)、氮气瓶(18)组成；其中气室(6)中含有进气孔(11)和出气孔(12)，光纤束(2)分出五个端口，分别称为第一端口(13)、第二端口(14)、第三端口(15)、第四端口(16)、第五端口(17)，其中第二端口(14)与第三端口(15)连通，第四端口(16)与第五端口(17)连通，LED光源(1)连接光纤束(2)的第一端口(13)，第三端口(15)与第五端口(17)分别连接光电探测器(3)的两个检测端口，光电探测器(3)数据端连接计算机(4)，气室(6)中放入第一Pt/WO₃薄膜(9)，第二端口(14)放在第一Pt/WO₃薄膜(9)前面用于收发光信号，气室(6)的进气孔(11)连接空气瓶(7)、氢气瓶(8)和氮气瓶(18)，出气孔(12)搁置在空气中，密闭气室(5)中放入第二Pt/WO₃薄膜(10)，第四端口(16)放在第二Pt/WO₃薄膜(10)前面用于收发光信号。

2.根据权利要求1所述的一种测量氢气浓度的光纤型传感器，其特征在于：第一Pt/WO₃薄膜(9)、第二Pt/WO₃薄膜(10)中的WO₃薄膜通过表面沉积而成，WO₃薄膜的厚度为80nm。

3.根据权利要求1所述的一种测量氢气浓度的光纤型传感器，其特征在于：密闭气室(5)中的气体为空气。

4.根据权利要求1所述的一种测量氢气浓度的光纤型传感器，其特征在于：第一Pt/WO₃薄膜(9)、第二Pt/WO₃薄膜(10)中的Pt薄膜通过喷溅系统在WO₃薄膜表面镀Pt。

5.根据权利要求1所述的一种测量氢气浓度的光纤型传感器，其特征在于：第一Pt/WO₃薄膜(9)、第二Pt/WO₃薄膜(10)中Pt膜的厚度为3.5nm。